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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>其它濕法工藝設(shè)備> CDS混液柜 芯矽科技

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CDS混液柜 芯矽科技

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/6/18 13:45:36
  • 訪問次數(shù) 36

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

非標(biāo)定制 根據(jù)客戶需求定制

CDS混液柜是專為半導(dǎo)體、醫(yī)藥及化工領(lǐng)域設(shè)計的自動化化學(xué)液體混合與供液系統(tǒng),集成了高精度配比、安全防護(hù)及智能化控制功能。其核心優(yōu)勢在于通過模塊化設(shè)計實現(xiàn)多組分化學(xué)液的精準(zhǔn)混合與連續(xù)供應(yīng),同時保障操作安全性與工藝穩(wěn)定性。

一、核心功能與技術(shù)特點

全封閉耐腐蝕結(jié)構(gòu)

柜體采用PP、PVDF或PFA等耐酸堿腐蝕材料焊接而成,有效隔絕強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等揮發(fā)性氣體泄漏,避免環(huán)境污染與設(shè)備腐蝕。

透明PVC觀察窗與可拆卸后門設(shè)計,便于實時監(jiān)測內(nèi)部管路狀態(tài),快速定位故障。

高效混液與供液能力

配備雙PE材質(zhì)供液桶(如1000L容量),支持一備一用不間斷供液,滿足連續(xù)生產(chǎn)需求。

計量泵與循環(huán)過濾系統(tǒng)結(jié)合,實現(xiàn)化學(xué)液的精確配比(如光刻膠、蝕刻液濃度控制)與微粒過濾(0.2μm濾芯),確保液體潔凈度。

除泡器消除流體震動產(chǎn)生的氣泡,避免氣泡對工藝穩(wěn)定性的影響。

智能控制系統(tǒng)

PLC人機(jī)交互界面支持參數(shù)預(yù)設(shè)、流程自動化及遠(yuǎn)程監(jiān)控,減少人工干預(yù)。例如,接收主機(jī)臺信號后自動啟停供液程序,并記錄用量數(shù)據(jù)。

漏液偵測與警報系統(tǒng)覆蓋供液柜、閥箱及管道,通過雙套管設(shè)計(內(nèi)管走液,外管監(jiān)測泄漏)及時預(yù)警,防止化學(xué)品污染。

安全與環(huán)保設(shè)計

抽風(fēng)系統(tǒng)搭配差壓表實時監(jiān)測揮發(fā)性氣體排放,防爆照明與氣體偵測器適用于有機(jī)溶劑等高危場景。

水循環(huán)沖洗與氮氣干燥功能替代傳統(tǒng)高溫烘干,避免治具熱損傷,同時降低能耗。

二、應(yīng)用場景與行業(yè)價值

半導(dǎo)體制造:用于光刻、蝕刻工藝中的化學(xué)液精準(zhǔn)配送,如顯影液、蝕刻液的多工位循環(huán)供液,提升芯片良品率。

醫(yī)藥研發(fā):支持藥物中間體合成、高分子控釋劑制備等場景,模塊化配置適應(yīng)不同配方需求。

電子工業(yè):服務(wù)于PCB蝕刻、電鍍等環(huán)節(jié),確保化學(xué)藥劑輸送的高精度與穩(wěn)定性。

三、設(shè)備優(yōu)勢總結(jié)

兼容性強(qiáng):適配不同尺寸治具與多類型化學(xué)液,支持定制化工藝參數(shù)。

低損耗率:精準(zhǔn)混液減少試劑浪費,物理隔離設(shè)計延長設(shè)備壽命。

綠色節(jié)能:化學(xué)劑回收率≥90%,真空干燥能耗較傳統(tǒng)方式降低40%。

高潔凈度:顆粒過濾精度達(dá)Class 5標(biāo)準(zhǔn),滿足制程要求。

CDS混液柜通過技術(shù)整合與創(chuàng)新,解決了傳統(tǒng)人工配液的效率低、風(fēng)險高、精度差等問題,成為半導(dǎo)體等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,助力客戶實現(xiàn)高效、安全、綠色的生產(chǎn)目標(biāo)。



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