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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>泵閥類>真空泵>HR1200 池田屋現(xiàn)貨??!ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵

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HR1200 池田屋現(xiàn)貨??!ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵

參考價(jià) 8124
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。


公司經(jīng)過多年的發(fā)展,已整合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關(guān)系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。池田屋主要經(jīng)營(yíng)日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測(cè)儀器、測(cè)量?jī)x器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。


公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、資深的管理團(tuán)隊(duì),通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù),服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。


“捕捉變化,開拓未來(lái)”
~通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來(lái)的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)~

我們以“教育科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域”和“研究科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域”為支柱,在本公司,全體員工以“了解變化,開拓未來(lái)”的挑戰(zhàn)精神和“用人、育人”的企業(yè)文化為基礎(chǔ),以池田屋有的方式響應(yīng)客戶的需求。








池田屋主要經(jīng)營(yíng)日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測(cè)儀器、測(cè)量?jī)x器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

泵軸位置 邊立式 輸送介質(zhì) 油泵
葉輪數(shù)目 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合

池田屋現(xiàn)貨!!ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 HR1200

池田屋現(xiàn)貨??!ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 HR1200


通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

    特點(diǎn)

    • 高溫區(qū)域均熱化
      實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
      “Model:UR”可比“Model:HR”更加高溫化。

    • 氦氣密封
      通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

    • 瞬停對(duì)策
      采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

    • 出色的耐腐蝕性
      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

    • 通信功能
      可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

    用途

    • CVD裝置

    • 蝕刻裝置

    • 灰化裝置

    • ALD、ALH 等

    規(guī)格

    型號(hào)HR60HR90HR300HR600HR1200
    使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
    機(jī)械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
    最大
    排氣速度
    50Hzm3/h
    (L/min)
    62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
    60Hzm3/h
    (L/min)
    80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
    到達(dá)壓力Pa50.67
    最大排氣壓力
    (吸入圧力)

    大氣壓 *1
    最大排氣壓力
    (吸入圧力)
    Pa1~ 大氣壓
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
    排氣口KF40
    質(zhì)量kg180245275370420
    電源三相VAC
    (Hz)
    200(50/60), 220(60)
    電流值穩(wěn)定時(shí)A7.1
    (at 200V)
    11.2
    (at 200V)
    7.8
    (at 200V)
    12.9
    (at 200V)
    15.4
    (at 200V)
    最大值A7.3
    (at 200V)
    11.8
    (at 200V)
    8.1
    (at 200V)
    13.8
    (at 200V)
    18.9
    (at 200V)
    冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
    冷卻水出入口壓差MPa>0.1
    冷卻水流量L/min>5.0
    吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
    二次壓力MPa0.05~0.1
    N2吹掃SLM5
    氣鎮(zhèn)SLM0~45

    、HR600、HR1200請(qǐng)勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。








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