美國(guó) Logosol 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 巡邊臺(tái) 晶圓處理 LPA12FS-3

Logosol的經(jīng)過(guò)時(shí)間考驗(yàn)的技術(shù)和高可靠性標(biāo)準(zhǔn)是行業(yè)中廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。預(yù)對(duì)準(zhǔn)器產(chǎn)品系列支持處理從45毫米到480毫米的對(duì)象，具有任何透明度水平，從不透明到全透明。Logosol特別的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺(tái)實(shí)現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

美國(guó) Logosol 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 巡邊臺(tái) 晶圓處理 LPA12FS-3

美國(guó)Logosol邊緣處理

創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零夾持力的被動(dòng)邊緣接觸技術(shù)，是Logosol邊緣夾持預(yù)對(duì)準(zhǔn)器技術(shù)的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對(duì)象時(shí)，晶圓不受應(yīng)力影響，保持最大的清潔度。提供標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號(hào)。

型號(hào)：LPA6EH-3,LPA8EH-3,LPA68EH-3,LPA8ET-3,LPA12ET-3,LPA812EH-3

美國(guó)Logosol獨(dú)立式

自主設(shè)備，用于對(duì)45毫米至480毫米的對(duì)象進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對(duì)象而無(wú)需機(jī)械重新定位、夾具負(fù)載和銷(xiāo)負(fù)載模式以及高精度選項(xiàng)。

型號(hào)：LPA26-3,LPA38-3,LPA58-3,LPA312-3,LPA812-3,LPA1218-3

美國(guó)Logosol嵌入式

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計(jì)算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對(duì)象的對(duì)準(zhǔn)能力，并可輕松與市場(chǎng)上可用的任何機(jī)器人進(jìn)行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項(xiàng)。

型號(hào)：LPA25-1E ,LPA38-1E,LPA58-1E ,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E