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顯微反射膜厚儀 FT400

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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江蘇集萃中科旨在光學(xué)組件、光學(xué)儀器、智能光電感知三大方向,開展系列關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)化實踐,目前已形成3D光學(xué)輪廓儀、白光干涉儀、反射膜厚儀、光致發(fā)光、無損檢測儀、光譜橢偏儀等標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。公司服務(wù)涵蓋光學(xué)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)及制造一站式服務(wù),同時為客戶提供基于智能光電感知的智慧工廠整體解決方案。




白光干涉儀、光學(xué)輪廓儀、粗糙度儀、光學(xué)膜厚儀、光譜橢偏儀等光學(xué)產(chǎn)品。

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

顯微反射膜厚儀 FT400描述:

利用光學(xué)干涉,采用微米級聚焦光斑,通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜,快速準(zhǔn)確測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍層、液晶顯示器、光學(xué)鍍層和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。


顯微反射膜厚儀 FT400功能

膜層厚度無損測量

避免傳統(tǒng)接觸式測量(如臺階儀)可能造成的劃傷或形變

支持微小區(qū)域測量

結(jié)合高倍率顯微物鏡和精密光路設(shè)計,將測量光斑聚焦至微米級。

支持測量區(qū)域光斑可視

避免盲測,提升測量重復(fù)性,尤其適用于不規(guī)則或異形樣品。

支持厚度均勻性測量

自動移動樣品臺,按網(wǎng)格或自定義路徑采集多點數(shù)據(jù)。

支持多種表面測量

如SiO?、光刻膠、PET薄膜,可通過多峰干涉解析各層厚度。

支持參數(shù)調(diào)整測量

用戶可保存不同材料的測量模板,提升批量檢測效率。


產(chǎn)品特點

1.高精度、高穩(wěn)定性無損測量。

2.支持小尺寸光斑定制。

3.可用于薄膜厚度均勻性測量,生成多點報表。

4.可測量高曲率樣品,在極小測量視場范圍場景同樣適用。

5.可測量表面粗糙樣品、帶圖形樣品,精準(zhǔn)定位待測區(qū)域。

6.光斑可視,搭配位移臺,使定位測量使用更便捷。


三視圖

  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    正視圖

  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    側(cè)視圖

  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    后視圖

  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    正視圖

  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    側(cè)視圖

  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    后視圖


技術(shù)參數(shù)

波長范圍

400-850nm

測量范圍(光學(xué)厚度)

50nm-80μm

測量重復(fù)性(RMS)

0.4nm

測量精度(與橢偏儀對比)

2nm或0.4%(以較大值為準(zhǔn))

入射角度

90°

光斑尺寸

40μm

測量時間

4ms-100ms

基片測量范圍

100mm,360°

通信接口

USB3.0





檢測案例

  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    PVA膜檢測


  • 顯微反射膜厚儀 FT400

    硅上鍍二氧化硅膜



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