激光光譜共聚焦顯微鏡

KathMatic KC系列激光光譜共聚焦顯微鏡是一款亞微米級檢測儀器，廣泛應用于微小結構及特殊材料的表面掃描與測量。，測量模塊采用光譜共焦技術，可非接觸、高精度地測量各類材質 的高度信息。結合反饋控制的XY掃描模塊及三維成像算法，獲得 精細的表面微觀結構。 在功能豐富的圖形后處理模塊中，還可靈活地進行圖像處理，并執行平面、輪廓、平均臺階、點高度、峰谷、體積、面積、粗糙度等測量功能，在半導體、消費電子、 鋰電池、新材料開發、光學器件制造、機械加工等領域廣泛應用。

掃描范圍：可測量樣品尺寸可達350mm×300mm

超高的測量精度：Z軸分辨率可達2nm

超快的掃描速度：高精密電動位移臺運動速度50mm/s，可快速進行線輪廓分析

超豐富的分析功能：軟件自帶圖像處理分析功能，可進行輪廓分析、平面分析、體 積分析、粗糙度分析、統計分析等數據分析工作

超簡單的設備操作：樣品無需前處理，軟件自帶操作導航，交互界面清晰易懂，稍 加學習即可進行專業測量

材質適應性：所有材質均可測量，樣品反射率幾乎不影響測量，表面斜率 適應性高達±45°