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非接觸式測(cè)厚儀

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北京昊然偉業(yè)光電科技有限公司成立于 2010 年,專業(yè)代理歐美(德國(guó)、瑞士、美國(guó)、波蘭等)高精度的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,致力于為科研和工業(yè)客戶提供光學(xué)檢測(cè)解決方案及包括售前、售中及售后在內(nèi)的服務(wù)。主要包括:
光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品:應(yīng)力雙折射、折射率、弱吸收、反射率、散射等測(cè)量系統(tǒng)/剪切干涉儀/非接觸式測(cè)厚儀/測(cè)角儀/可調(diào)相位延遲波片等;
激光檢測(cè)產(chǎn)品:激光功率計(jì)、能量計(jì)及光束質(zhì)量分析儀等;
                         集成系統(tǒng)所需的激光器、步進(jìn)位移平臺(tái)、偏振光轉(zhuǎn)換器等
                         顯微系統(tǒng)所需的XYZ電動(dòng)載物臺(tái)、波片進(jìn)片機(jī)、高速相機(jī)ICCD、像增強(qiáng)器300ps門控時(shí)間、FLIM、高精度脈沖延時(shí)器等。
                         值得一提的是,近年來公司科研團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)PCI弱吸收測(cè)量?jī)x,CRD光腔衰蕩法高反測(cè)量?jī)x,偏心曲率測(cè)量?jī)x等產(chǎn)品,為今后的發(fā)展壯大奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

測(cè)角儀,應(yīng)力雙折射,折射率,薄膜弱吸收,反射率,GDD檢測(cè)設(shè)備,波片相位延遲,剪切

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測(cè)量系統(tǒng)采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測(cè)量原理:低相干邁克爾遜干涉儀  

非接觸式測(cè)厚儀

 

 


如圖所示:


Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束,經(jīng)Beamsplitter分束成兩束光,這兩束光通過準(zhǔn)直儀聚焦到Measurement arm(測(cè)量臂)和Reference arm(參考臂)上;
在測(cè)量臂段,光束經(jīng)待測(cè)物前后兩表面反射產(chǎn)生兩束反射光;在參考臂段,光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經(jīng)光纖返回到Beamsplitter 中,此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號(hào)經(jīng)探測(cè)器(光電二級(jí)管)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以準(zhǔn)確移動(dòng),當(dāng)干涉儀的測(cè)量臂與參考臂光程相等時(shí),才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動(dòng),就可以 測(cè)量被測(cè)鏡的位置。

 

非接觸式測(cè)厚儀特點(diǎn)

1. 非接觸式、非破壞性; 
2. 實(shí)時(shí)在線測(cè)量或離線測(cè)量; 
3. 可單次測(cè)量多層膜,最高可測(cè) 20 層; 
4. 探針靈活配置,實(shí)現(xiàn)多個(gè)不同目標(biāo)測(cè)量 (最多可配8個(gè)探頭); 
5. 測(cè)試速度快(1s) 
6. 適用范圍廣 
 

非接觸式測(cè)厚儀性能參數(shù):

型號(hào)

OptiGauge® LT

OptiGauge II

OptiGauge EMS

測(cè)量范圍(n=1.5)

12μm to 3.3 mm

12µm to 12 mm

12µm to 35 mm

測(cè)量層數(shù)

1

20

20

絕對(duì)精度

±1μm

±0.1µm

±0.1µm

重復(fù)精度

1μm 1σ

0.1µm 1σ

0.1µm 1σ

掃描速率

50Hz

50Hz,100Hz 和200Hz可選

20Hz

光源

1310nm SLED

45nm wide

1310nm SLED

45nm wide

1310nm SLED

45nm wide

測(cè)量頭工作距離

25mm and 50mm

25mm and 50mm

25mm and 50mm

光纖長(zhǎng)度

3m,max 1000m

3m,max 1000m

3m,max 1000m

測(cè)厚儀應(yīng)用領(lǐng)域:

Lumetrics 產(chǎn)品既可以提供獨(dú)立的測(cè)量頭,也可以集成在各種設(shè)備中,廣泛應(yīng)用在以下領(lǐng)域,

1、光電子行業(yè):

2 、薄膜行業(yè):測(cè)量塑料薄膜的厚度

3 、醫(yī)療行業(yè):測(cè)量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙等

4、單件元件厚度控制(特別適用于紅外材料,測(cè)量厚度控制平行度)
5 、平板玻璃厚度測(cè)試:浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測(cè)量

 

非接觸式測(cè)厚儀




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