真空高低溫探針臺
A．配置清單：真空腔體x1、三維探針座x4、三同軸探針夾具x4、探針x10、高低溫樣品臺x1、溫度控制器x1、液氮控制器x1、溫控軟件x1、液氮杜瓦瓶x1
B．具體配置參數：
1）方形樣品臺尺寸25mmX25mm，樣品臺表面防滑，背柵電極測試接口
2）方形氧化鋁陶瓷絕緣片25mmX25mm
3）真空腔體長400mmX寬400mmX高100mm，真空腔蓋子配4個快擰接頭
4）方形石英視窗尺寸φ30mm
5）真空度10-3 mbar
6）PID 精密算法 程控液氮泵溫控器，溫控范圍：-193℃~+400℃，溫度穩定度±0.5℃
7）樣品固定方式：彈片壓持
8）內置真空探針座4 個，點測定位精度1.4μm，探針XYZ微調移動行程12mmX12mmX12mm，三同軸探針夾具電纜，漏電精度<100fA
9）高純度固體鎢針10 根
10）定制液氮管路，液氮杜瓦瓶20L
11）抽真空閥門和接口，充放氣接口，預留接口