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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>臺階儀>NS200 高重復性大量程臺階儀

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NS200 高重復性大量程臺階儀

參考價 600000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌 CHOTEST/中圖儀器
  • 型號 NS200
  • 產地 深圳市南山區西麗街道學苑大道1001號南山智園B1棟5樓
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/5/14 10:19:59
  • 訪問次數 260

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。


中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎,擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊,歷經20年的技術積累和發展實踐,研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。





三坐標測量機,影像儀,閃測儀,一鍵式測量儀,激光干涉儀,白光干涉儀,光學輪廓儀,激光跟蹤儀

產地類別 國產 價格區間 面議
應用領域 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,綜合

NS系列高重復性大量程臺階儀臺階高度重復性能低于5A,Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級,且垂直方向動態比率高,可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩定可靠,重復性好,精準拿捏測量的輪廓形貌細節。

應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。

高重復性大量程臺階儀

產品功能

1.參數測量功能

1)臺階高度:能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數十項參數。

3)應力測量:可測量多種材料的表面應力。

2.測量模式與分析功能

1)單區域測量模式:完成Focus后根據影像導航圖設置掃描起點和掃描長度,即可開始測量。

2)多區域測量模式:完成Focus后,根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置,可根據橫向和縱向距離來陣列形成若干到數十數百項掃描路徑所構成的多區域測量模式,一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3)3D測量模式:完成Focus后根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置,并可根據所需掃描的區域寬度或掃描線條的間距與數量完成整個掃描面區域的設置,一鍵即可自動完成整個掃描面區域的掃描和3D圖像重建。

4)SPC統計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數的分析,針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,在正視導航影像系統中可精確設置掃描路徑,在斜視導航影像系統中可實時跟進掃描軌跡。

4.快速換針功能

NS系列高重復性大量程臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執行換針操作時,可現場快速更換掃描測針,并根據軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。

高重復性大量程臺階儀

磁吸針實物外觀圖(330μm量程)


行業應用場景

半導體制造:沉積/蝕刻薄膜厚度測量、CMP工藝表面平整度檢測、抗蝕劑臺階高度分析。

光伏與顯示面板:太陽能涂層膜厚、AMOLED屏微結構、觸控面板銅跡線測量。

MEMS與微納材料:微型傳感器形貌表征、柔性電子器件薄膜厚度檢測。

科研與高校:材料表面應力分析、微加工工藝研發數據支撐。

高重復性大量程臺階儀

部分技術參數

型號NS200
測量技術探針式表面輪廓測量技術
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續旋轉
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環境

相對濕度:濕度 (無凝結)30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。



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