| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,生物產業,地礦,能源,電子/電池 |
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一、產品特點
亞納米級分辨率
低像差錐形物鏡
大束流
自動化控制系統
超大樣品倉
鏡筒加速技術 顯著降低色差 低壓下高質量成像
二、技術參數
三、產品功能
01 二次電子探測器
· 高信噪比，高帶寬 · 大景深，表征樣品表面形貌結構
02 不同探測器同時成像
· 顯示SE，BSE 雙通道圖像
· 可任意設置不同探測器的信號混合比例
· BSE探測器，反映樣品表面的成分特征
03 陰極熒光成像
04 大圖拼接
可連續自動采圖，避免人工操作的繁瑣和誤差。 · 實現多個圖像準確拼接，生成高分辨率的大圖。
05 粒度分析
采用深度學習的復合圖像處理算法，自動識別比例尺，精準識別圖像中的顆粒，多種形態參數的統計與導出，更全面的進行粒度
和粒形統計。
06 關鍵尺寸測量
具備距離，角度，水平線/垂直線等豐富的圖像測量功能
四、定制能力
1、電子束曝光（EBL）
基于掃描電鏡的電子束曝光系統（EBL），能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積，從而實現高分辨率的圖形曝光。該系統采用先進的電子束掃描控制技術，支持靈活多樣的圖案設計和精確控制，不僅具有電子束曝光功能，還保留了原SEM 的觀測功能，這使得用戶可以在同一臺設備上完成樣品的觀測和加工，提高了工作效率和便利性。
2、真空互聯
·真空互聯掃描電鏡用于對樣品車傳遞過來的產品進行自動檢測，分析其表面晶粒形態大小分布等信息，評估其薄膜的膜質量情況。
·真空互聯系統可以在真空狀態下對樣品進行預處理，并傳遞到掃描電鏡內進行觀測。
·自動檢測和反饋系統，對樣品標簽、位置狀態、樣品交接進行監控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。
3、激光聯用-超快電鏡
·超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達到激發態。使用時間延遲可調的另一束激光作用于電
鏡燈絲，產生脈沖電子束照射于樣品表面進而收集表面逸出的二次電子對激發瞬態進行表征。
五、應用案例
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