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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>硅片制備/晶體生長設備>單晶爐>FZ-T-10000-H 高溫高壓光浮區單晶爐/日本CSC

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FZ-T-10000-H 高溫高壓光浮區單晶爐/日本CSC

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上海麥科威半導體技術有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業的微納材料、半導體和微電子材料及器件研發儀器及設備的供應商,所銷售的儀器設備廣泛用于高校、研究所、以及半導體和微電子領域的高科技企業。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設立分公司和辦事處,快速響應客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導體技術有限公司主要銷售產品包括:  - 霍爾效應測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結爐;  - 電子束蒸發鍍膜機,熱蒸發鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統,等離子增強原子層沉積設備;  - 電化學C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統; - 光學膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統-PLD-納米壓印;-等離子清洗機、去膠機;-反應離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發機,化學沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業客戶:華為技術有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術, 安徽格恩半導體, 蘇州稀晶半導體科技, 矽品半導體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(常州),偉創力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學, 汕頭大學, 南方醫科大學, 清華大學, 北京大學, 復旦大學, 西北工業大學, 南京醫科大學, 香港中文大學, 香港城市大學, 蘇州大學, 深圳職業技術學院, 南京大學合肥國家試驗室, 上海交通大學醫學院, 華南理工大學,華東師范大學,江南大學,重慶26所, 深圳大學, 南方科技大學, 深圳技術大學, 理化技術研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學, 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農業協同創新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導體設備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

高溫高壓光浮區單晶爐/日本CSC能夠提供2200℃以上的生長溫度,晶體生長腔壓力可達300bar,甚至10-5mbar的高真空。適用于生長各種超導材料單晶,介電和磁性材料單晶,氧化物及金屬間化合物單晶等。

高溫高壓光浮區單晶爐/日本CSC技術參數:

模型fz-t-10000h -八世(vpo)電腦

鹵素燈系統

燈和鏡子的數量4個

鏡子數量4片

壓力0.95 MPa

真空6.7×10-3Pa (5×10-5Torr)

(石英管)

常壓φ50mm/365mm長/2mm厚

高壓φ50mm/365mm長/5mm厚

軸密封為o型密封圈

Max溫度2200℃

常溫1850℃

燈功率1200w (300W×4個燈)

4,000W (1,000Wx4盞燈)

6,000W (1,500W×4盞燈)

鏡臺/軸鏡臺與上軸垂直轉移

周圍溫差

桿面<30℃

燈具冷卻空氣

鏡面冷卻空氣

Max晶體長度(mm) 150

Max進給長度(mm) 150

生長罕見緩慢移動0.01~300mm/hr

生長速度快移6~150mm/min

軸轉速5~100rpm

監控CCD攝像頭和LCD

控制系統計算機LabVIEW / Windows 10(帶遠程控制功能)

手動Hand-control-box

①5L/min氬氣流量計(*1)

②500cc/min氧流量計

③10L/min帶壓縮機的空氣流量計

公用事業電力3相200V,40A

水冷:3~5l/min

尺寸(mm)主體W850×D760×H1950

控制箱W605×D760×H1700

備注:

1. 可選燈功率:150W/500W/750W

2. (*1)可更改其他類型的氣體和流量

3. 質量保證:

Crystal Systems Corporation保證自安裝之日起一(1)年內有效,但以下情況除外不正常使用。(1)燈(2)鏡子(3)石英管等玻璃器皿不在保修期內。



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