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化工儀器網>產品展廳>工業在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>氣體流量計> D07-9質量流量控制器/流量計

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D07-9質量流量控制器/流量計

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深圳市江麥智能科技有限公司是一家集研發、制造、銷售、服務為一體的專業型企業,主要服務于各科研機構、各大高校、生產企業等。

本公司以科技創新為主,服務客戶為宗旨,以優良產品為導向、用專業高效的技術支持與各個行業的企業、各大高校有著良好、穩定的合作關系。

深圳市江麥智能科技有限公司在將繼續堅持客戶需求為王、技術服務為主、產品質量為本的原則客戶提供優質服務。



探針臺,材料催化評價裝置,自動配氣儀,氣路柜,真空封管機,分子泵組,VOC發生器,濕度發生器,毛細管流量檢測儀,流量檢測儀

產地類別 國產 產品種類 質量式
價格區間 面議 介質分類 氣體
應用領域 化工,生物產業,能源,制藥/生物制藥,綜合

質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行精密測量;質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量 和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工藝 設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖 熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

D07-9質量流量控制器/流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、 穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 采用國際標準接頭, 其 操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。

D07系列質量流量控制器和質量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產品配套使用, 控制控制器與顯示之間用專用電纜連接。


特點

• 中流量型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭

D07-9質量流量控制器/流量計技術參數

類型

D07-9E 型

D07-9EM 型

D07-9F 型

D07-9FM 型

流量規格

( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM

( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM

0~20,30,50,100,150,200,250 SLM

0~20,30,50,100,150,200,250 SLM

準確度

±2 % F.S.

±2 % F.S.

±2% F.S.

±2 % F.S.

線性    

±1 % F.S.

±1 % F.S.

±1% F.S.

±1 % F.S.

重復精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2% F.S.

±0.2 % F.S.

響應時間

(1 ~ 4) sec

(1 ~ 4) sec

≤ 4sec

≤4 sec

工作壓差范圍

20 , 30  SLM:   (0.05 ~ 0.30)  MPa (7.3~43.5 psid)
50,150  SLM:   (0.10 ~ 0.30)  MPa (14.5~43.5 psid)
200,250  SLM:   (0.15 ~ 0.30)  MPa (21.8~43.5 psid)

-

20,30  SLM: (0.05~0.30) MPa  (7.3~43.5 psid)
50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa  (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa  (21.8~43.5 psid)

-

氣壓降

-

20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid);
>100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)

-

20~100SLM: <0.02 MPa  (2.9 psid);
>100SLM: <0.05 MPa    (7.3 psid)

最大工作壓力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

耐壓

3 MPa (435.1 psig)

3  MPa (435.1 psig)

3  MPa  (435.1 psig)

3  MPa    (435.1 psig)

工作環境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5℃ ~ 45℃

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

電源

+15 V   50 mA
-15V  400 mA

+15 V   50 mA
-15 V   50 mA

24VDC  400 mA

24 VDC   100 mA

重量

2.6 kg

1.5 kg

2.6 kg

1.5 kg





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