日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀
- 公司名稱 成都藤田科技有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/2/21 15:03:03
- 訪問次數 180
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
---|---|---|---|
應用領域 | 綜合 |
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供
產品信息
特 點
● 采用分光干涉法
● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(第4834847號)
● 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統
● 可嵌入至各種制造設備。
● 實時測量膜厚
● 可對應遠程操作、多點測量
● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
多層膜厚解析
用 途
光學薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)
FPD相關(光刻膠、SOI、SiO2等)
設備構成
單點型
半導體晶圓的面內分布測量
玻璃基板的面內分布測量
多點型
實時測量
流向品質管理
真空室適用
導線型
實時測量
寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
設備構成
單點型
半導體晶圓的面內分布測量
玻璃基板的面內分布測量
多點型
實時測量
流向品質管理
真空室適用
導線型
實時測量
寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
核心特點:
微區測量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動XY平臺(200×200mm),實現晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等微小區域的精準厚度分布映射。
跨行業適用性:專為半導體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業設計,支持粗糙表面、傾斜結構及復雜光學異向性樣品的分析。
安全與擴展性:區域傳感器觸發防誤觸機制,獨立測量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(inline)與實驗室研發需求。
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供