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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>傳感器>氣體傳感器>Gasboard-2061 紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝

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Gasboard-2061 紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝

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  四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(688665.SH)的全資子公司,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統有限公司,是一家專業提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業,服務于環境監測、過程氣體監測、智慧計量等領域。
  基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優勢,四方儀器開發了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(TCD)、光散射探測(LSD)等技術原理的氣體成分流量儀器儀表,產品廣泛應用于環境監測、冶金、煤化工、生物質能源等各個行業,在節能減排中發揮重要作用。四方儀器自主研發生產的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產品證書,紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優.秀.產品獎榮譽,其核心技術獲得湖北省發明專.li金獎。四方儀器“微流紅外煙氣傳感器研究及產業化”獲得*2019年工業強基工程重點“產品、工藝”一.條.long應用計劃示范項目,公司獲得一.條.long”應用計劃示范企業。
  四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及國際化視野,產品已出口多個國家和地區,正在朝著氣體分析科學儀器的國際品牌邁進。












氣體分析儀,沼氣分析儀,煤氣分析儀,煙氣分析儀,尾氣分析儀,過程氣體分析儀,氣體流量計,氣體傳感器,溫室氣體分析儀,汽車排放氣體分析儀

應用領域 環保,能源

紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝


產品名稱:紅外氣體傳感器

產品型號:Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。


紅外氣體傳感器產品特性

(1)使用NDIR技術,多氣體監測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm







應用領域

半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測



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