雷尼紹超精密測量光柵 超高精度 超小型

VIONiC光柵系列是雷尼紹性能高的增量式光柵，它可提供直接的數字位置反饋，具有優異的測量性能，運行速度快且可靠性好。VIONiC讀數頭集成雷尼紹經過市場檢驗的可靠光學濾波系統和細分技術。它具有超低的電子細分誤差(SDE)、優異的抗污能力，而且無需額外使用適配器或單獨的接口。

此外，VIONiC讀數頭可兼容各種直線柵尺、圓弧柵尺和圓光柵，從低膨脹ZeroMet™柵尺到高精度REXM圓環光柵，無一例外。VIONiC系列光柵因此成為具有多功能性和優異測量性能的理想光柵。

VIONiC光柵采用雷尼紹第三代光學濾波系統，可對多個光柵周期進行平均，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去，以在探測器上留下一個正弦波形。這里使用的是一個多條紋結構，它非常細，能夠產生4個對稱相位信號形式的光電流。這些結合在一起可免去DC器件，并可產生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦信號輸出，同時保持500 kHz以上的帶寬。

包括自動增益控制、自動平衡控制和自動偏置控制在內的集成高級動態信號調節組合在一起，確保實現超低電子細分誤差 (SDE)(通常 < ±15 nm)。

光學濾波系統的這一改進加上精選的優質電子器件，大帶寬增量信號可達到12 m/s的速度，同時也是同類光柵中位置抖動(噪聲)最小的。讀數頭內置細分功能，同時利用其他抗噪電子器件進一步增強高分辨率型VIONiC的抗噪功能，從而實現抖動水平僅有1.6 nm RMS。

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