KAKUHUNTER寫(xiě)真化學(xué) 反射多層成像膜厚計(jì)

KAKUHUNTER寫(xiě)真化學(xué) 反射多層成像膜厚計(jì)

 這是一種膜厚計(jì)，可以利用顯微圖像光譜法將透明多層膜的膜厚分布可視化。

由于使用光學(xué)干涉法計(jì)算膜厚，因此可以

以0.1nm以下的分辨率以3D方式顯示膜厚分布。

測(cè)量顯微鏡視野內(nèi)任何區(qū)域的

膜厚和膜質(zhì)量分布，并以 3D 形式顯示分布

分辨率相當(dāng)于可見(jiàn)光波長(zhǎng)干膜測(cè)厚儀

波長(zhǎng)范圍從 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量

使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計(jì)算引擎進(jìn)行并行計(jì)算

應(yīng)用實(shí)例

① 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜、溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu)。

② 使用 EMA（有效介質(zhì)近似）法估算亞微米圖案的密度

③ 局部結(jié)晶度評(píng)價(jià)

您可以根據(jù)工作和應(yīng)用選擇物鏡。

代理品牌：CCS晰寫(xiě)速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

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