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淮安旭能水處理環保設備超純水設備反滲透設備過濾器
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淮安旭能水處理設備有限公司是一家致力于水處理技術,設備開發應用,集研發,設計,制造,銷售,安裝,服務為一體的綜合性環保企業。公司自創立以來,一直專業致力于環保行業設備的研發與創新,經過不斷努力,所 設計制造的水處理系統設備,因可靠的質量匜被國內多家廠家信賴
公司主營產品:軟化水設備,純水設備 ,超純水設備 ,超濾設備 ,中水回用設備 ,廢水處理設備 ,
超純水設備 反滲透設備 中水回用設備 軟化水設備 廢水處理設備
微電子清洗對超純水的水質要求**,需達到電子級水的標準。一般要求電阻率在 15~18MΩ?cm 甚至更高,以確保水中幾乎無雜質離子,避免對微電子器件造成污染
水中的顆粒物質需嚴格控制,通常要求顆粒粒徑小于一定數值,如 0.1μm 甚至更小,防止顆粒附著在微電子元件表面影響其性能和可靠性
有機物含量要極低,一般以總有機碳(TOC)來衡量,要求 TOC 值在幾個 ppb 甚至更低的水平,因為有機物可能會在清洗過程中殘留并對器件產生不良影響.
微生物指標也不容忽視,需保證超純水中無菌或微生物含量極低,防止微生物在微電子器件表面滋生繁殖,影響產品質量
預處理:通常包括多介質過濾、活性炭吸附、軟化等步驟,目的是去除水中的大顆粒懸浮物、有機物、硬度離子等,為后續的深度處理提供較好的進水條件
反滲透(RO):利用半透膜的原理,在壓力作用下,使水通過膜而鹽分等雜質被截留,可有效去除水中的大部分溶解鹽類、有機物、膠體等雜質,一般采用兩級反滲透工藝以提高脫鹽率
電去離子(EDI):作為深度除鹽的關鍵技術,EDI 裝置中的離子交換樹脂在電場作用下不斷再生,可連續穩定地生產高純度的超純水,進一步去除水中殘留的微量離子,使水質達到電子級水的要求
拋光處理:經過上述處理后的水還可能含有極少量的雜質,通過拋光混床、TOC-UV 氧化分解、終端超濾等拋光工藝,進一步去除水中的痕量離子、有機物和顆粒物質,確保超純水的水質達到微電子清洗的高標準
氣體控制:在超純水制備過程中,還需要對溶解氣體進行控制,如采用膜接觸器等技術脫除水中的溶解氧、二氧化碳等氣體,防止其對微電子器件造成氧化、腐蝕等不良影響
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