表面形貌和動態運動的分析與可視化是測試和開發微觀結構（如MEMS器件）的關鍵。它們對于驗證FE計算、確定串聯效應和測量表面變形是必要的。MSA-600微型系統分析儀是一個多合一的光學測量工作站，可用于表征表面形貌以及平面內和平面外的運動

MSA-600-M/V版本覆蓋高達25 MHz的頻率范圍，非常適合MEMS、MEMS麥克風和其他微系統。MSA-600-X/U版本覆蓋高達2.5 GHz的高頻和超高頻范圍，非常適合評估高頻MEMS諧振器、SAW、BAW等微聲學器件

MSA-600-S是一款專為8 GHz實時振動分析和表面形貌分析而設計的專業光學測量工作站。它非常適合測試GHz MEMS，如FBAR（薄膜體聲波諧振器）、BAW（體聲波）濾波器和SAW（表面聲波）器件

亮點

專用于顯微結構的一體化光學測量工作站

真正的實時測量（無需數據后處理）

MSA-600-M/V 型測試頻率高達25 MHz

MSA-600-X/U 型測試頻率高達2.5 GHz

MSA-600-S 型測試頻率高達8 GHz

亞pm級的位移分辨率

快速測量，振型可視化

操作簡便、直觀

自動化測試系統，易于集成至探針臺

用于FE模型驗證的導入/導出功能（選配）

基于MEMS系統的一體化光學測量解決方案

基于MEMS系統的MSA-600顯微式激光測振儀，集多種測量功能于一體，其不僅能測量面內振動和面外振動，還能測量表面形貌。系統具有很高的靈活性和精度，以滿足顯微結構未來的發展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態和靜態響應數據，在降低開發和制造成本的同時提高產品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產品產量。

高性能激光多普勒測振儀能快速進行實時測量，位移分辨率達亞pm級。白光干涉儀可以在幾秒鐘內提供數以百萬計的三維表面形貌數據。MSA-600的用戶界面直觀，操作簡便，是一款用于研究、開發和質量控制的功能強大的光學測量系統。系統易于集成至常見的商用探針臺上，從MEMS原型設計到測試和故障排除，其能在各個開發階段給您提供幫助，從而降低生產成本并縮短產品上市時間。