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化工儀器網>產品展廳>分析儀器>色譜>色譜/紫外/蒸發光檢測器> 紫外波前分析儀-SID4-UV

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紫外波前分析儀-SID4-UV

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                                            徠飛光電科技(深圳)有限公司坐落在深圳國家科學城-光明中心區,是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的企業,為國內高校及企業研發提供光電設備及集成方案的供應商。

徠飛光電致力于引進國際上優秀的光電技術產品,結合我們豐富的應用經驗,為客戶提供合適的解決方案,目前主營產品包括:光譜測量系統、激光器、激光量測系統、精密光機產品、光學平臺、光學元器件等;產品廣泛應用于材料學、物理光學、鏡頭、半導體器件測試、汽車光學器件、顯示光學器件等領域

徠飛光電始終堅持以客戶需求為中心,與客戶協同創新,為行業帶來新的解決方案,實現跟客戶的價值雙贏、共同發展,立志成為光電行業專業的光電解決方案供應商;

目前徠飛光電為客戶提供以下產品和服務:

波前分析系統:四波剪切干涉波前傳感器、鏡頭MTF測試系統、等離子體診斷系統、透射式波前調制器

光譜系統:拉曼光譜系統、熒光光譜系統、紫外拉曼系統等;

光電模組:激光光源、超亮白光光源、波長可調光源、電學測試儀等

傳感器:光纖光譜儀、紅外光譜儀、波前傳感器、科研級制冷相機、激光功率計、光斑分析儀等

精密機械:電動位移臺、手動位移臺、光學調整架、光學平臺

光學元件:透鏡、窗口、反射鏡、棱鏡、濾光片、波片、偏振元件等


原位熒光光譜儀,波前分析儀,拉曼光譜儀,紅外光譜儀,超亮白光光源,大功率LED光源,波長可調光源,激光器,BSDF測試系統

SID4-UV是Phasics針對半導體應用市場需求推出的一款高性價比的紫外波前分析儀,波長范圍覆蓋190nm~400nm,靶面尺寸為7.8X7.8mm2,提供300X300的采樣率,同時能夠提供26um的相位空間分辨率;該產品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求,也能夠滿足半導體的光學器件的品質管控測量和半導體晶圓面型的測量;

應用領域:193nm激光光束測量

半導體設備用鏡頭測量

半導體表面缺陷測量

SID4-UV指標規格

波長范圍

190nm~400nm

靶面尺寸

7.8X7.8mm2

相位空間分辨率

26um

相位譜&光強譜采樣率

300X300

相位分辨率

<2nm   RMS

精度

15nm RMS

采樣頻率

15fps

實時相位輸出頻率

2fps(全分辨率)

通信接口

Giga   Ethernet

尺寸

74 x 71 x 91 mm3

重量

約600g

 更多應用資訊,請聯系我司產品經理蘇先生( 微信同號)




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