名稱：標準半球(計量檢測球)

貨號：Aubat-A253/30nm

參數：

   直徑約φ25mm

   P+V(圓度）≤30nm

廠家：奧本精密

了解非接觸式表面輪廓測量儀：

LUPHOScan850 HD

LUPHOScan: 適用于各種類型光學表面的非接觸式計量

3D光學計量儀器 ，精確測量非球面、衍射面和自由曲面等多種光學工件，可測量口徑高達 ?850mm；用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉對稱表面（光學器件）進行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。該輪廓儀的主要優點包括測量速度快，對一些特殊的表面形狀（如平頂或帶有拐點的輪廓）具有高度靈活性。

測量原理

當被測光學鏡面旋轉時，光學測頭同時跟蹤著被側件的理論設計輪廓移動，進而形成在整個測量面法線方向上的螺旋式掃描。這種技術能夠測量幾乎所有類型的光學面。

測量技術特點：

高度精確

• 能精確測量面形誤差且具備高度可重復性，面形誤差

精度可高達< λ/20 (PV99) 和 ≥5nmRMS*

測量范圍大靈活性高

• 測量口徑范圍可從5mm 到 850mm，測量高度范圍到210mm

高密度測量點

• 測量點數高達600萬，以用于精確測量和分析大口徑的中頻面形誤差

自由曲面的檢測

• 對回轉非對稱面可測量整個園周的大斜度變化到±8° (徑向斜度到90°)

幾乎能測量所有的材料

• 透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面

以提高測量精度和重復再現性精度為前提的優化技術

花崗巖參考支架

• 采用材質分布均勻的花崗巖為計量參考支架，外加通過優化設計確保熱膨脹誤差的準確補償，從而將振動造成的測量誤差減到最小。

測量環境條件變化的實時誤差補償

• 四個溫度變化測量傳感器和一個氣壓變化傳感器

測量系統噪音極低，精度高

• 采用TMC設計 的主動抗振系統，以獲得隔振測量環境

自動調心調平

• 全自動測量，提供極為穩定而精確的測量結果

計量方法：

使用一個有效口徑為220 mm的球形設計工件進行研究測試。將球形工件放在儀器的旋轉平臺上，首先將工件軸與轉臺軸對正進行測量，然后再平移一定的距離進行離軸球面的測量。 這種使用一個偏離軸10mm的球面來代表自由曲面的測試方法，其優點是可以直接將測試結果與已知面形誤差的精加工球面進行比較。