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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>其它半導體設備> TFS 200原子層沉積ALD

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TFS 200原子層沉積ALD

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公司主要銷售實驗室儀器儀表、實驗室儀器設備、散熱材料、增材制造設備、電氣設備、電子產品、通訊器材、機械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機械配件、非標自動化設備、五金工具、實驗耗材和試劑(不含危險化學品)、激光儀器及輔助設備;

電氣設備、信息系統設計、集成;工程管理服務;單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術開發、技術轉讓和檢驗檢測服務;

計算機軟硬件及輔助設備、信息系統軟件、非標自動化設備的租賃和維修;

銷售醫療器械、文化辦公用品、五金交電、機械設備、監控設備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫療器械經營、第三類醫療器械經營;依托進口核心產品做研發:

團隊是由深圳大學從事材料,光學,生物團隊組成,目前核心創始人3位,分別負責材料,生物和光電領域,分別提供相應配套設施以及技術解決方案等;業務目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區,可快速抵達廣東所在區域提供技術支持和服務。

目前典型服務客戶有:清華大學深圳國際研究生院,哈爾濱工業大學(深圳),南方科技大學,深圳大學,深圳技術大學,北京大學深圳研究生院,松山湖材料實驗室,大灣區大學(籌),東莞理工學院,中山大學,暨南大學,華南理工大學,廣東工業大學等

純水機,離心機,旋轉蒸發儀,光譜儀,質譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學工作站,,流式細胞儀,手套箱,磁控濺射

一、簡介:TFS 200 是一款適用于科學研究和企業研發的最靈活的 ALD 平臺,是為多用戶研究環境中將可能發生的交叉污染降至而特別設計的。

TFS 200 不僅可以在晶圓,平面物體上鍍膜,還適用于粉末,顆粒,多孔的基底材料,或是有高深徑比的3D物體內沉積高保形薄膜。

直接和遠程等離子體沉積 (PEALD) 可作為TFS 200 的標準選項。等離子體是電容性耦合(CCP),這是當今的工業標準。等離子體選件可為直徑200毫米的基板(面朝上或面朝下)提供直接和遠程等離子體增強沉積 (PEALD)

二、技術參數:

  • 循環周期小于2秒。在特定的條件下可以小于1秒。

  • 高深徑比(HAR)選項適用于通孔和多孔的基底材料。

  • 可快速加熱和冷卻的冷壁真空反應腔。

  • 安裝在真空反應腔的輔助接口可實現等離子體和在線診斷等。

  • 加載鎖可用于快速更換基底材料并與其他設備集成




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