化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備> 實(shí)驗(yàn)型顯影機(jī)
實(shí)驗(yàn)型顯影機(jī)
- 公司名稱(chēng) 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 15:47:02
- 訪問(wèn)次數(shù) 285
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 全封閉式桌面顯影機(jī),主要用于半導(dǎo)體制造中晶片的顯影工藝,設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動(dòng),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)
v 支持wafer尺寸:碎片至200mm(可根據(jù)客戶需求定制四管路或更大基片)
v 單步工藝及多步工藝可選,內(nèi)置100組可編輯程序
v 轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM
v 旋涂速度:20-3000rpm(空載)
v 旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)
v 工藝時(shí)間設(shè)定:0-3,000sec/step,時(shí)間設(shè)置精度: 0.1sec