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MicroFLOW SF6?.100?Vol.-%氣體傳感器

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海攸亦光電科技有限公司
  • 品牌 Micro-Hybrid
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/9/27 16:20:24
  • 訪問次數(shù) 1286
產(chǎn)品標(biāo)簽

MicroFLOW SF6?.100?Vol.-%氣體傳感器

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上海攸亦光電科技有限公司是一家專注于光譜技術(shù)和應(yīng)用開發(fā)的科技企業(yè),提供紫外,可見,近紅外,中紅外到太赫茲范圍的光電產(chǎn)品,包括光學(xué)元件,光學(xué)儀器,光譜儀,光學(xué)機(jī)械,成像系統(tǒng),以及各種定制產(chǎn)品和服務(wù)。為科研院所和企業(yè)客戶提供專業(yè)的應(yīng)用咨詢和產(chǎn)品解決方案。



光學(xué)元件、光學(xué)儀器、光纖器件、光學(xué)成像、光機(jī)械

應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

MicroFLOW SF6?.100?Vol.-%氣體傳感器 

描述

六氟化硫在許多應(yīng)用中仍是必須的,作為一種示蹤、保護(hù)或絕緣氣體。由于SF6的高溫室效應(yīng),對氣體的負(fù)責(zé)任處理變得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%傳感器適用于需要精確和可靠的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè):SF6用于等離子蝕刻工藝,在半導(dǎo)體材料如硅、二氧化硅和其他化合物上創(chuàng)建精確圖案。該氣體被用在特殊的蝕刻室中,通過施加高頻能量轉(zhuǎn)化為等離子體。這個(gè)等離子體然后選擇性地與材料反應(yīng),使得在一個(gè)非常受控和準(zhǔn)確的過程中精確地雕刻或移除材料。

在鋁的生產(chǎn)中,六氟化硫被用作示蹤氣體,以提高生產(chǎn)效率并盡早檢測潛在問題。它還用于監(jiān)測最終產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。

能源技術(shù):在電力供應(yīng)領(lǐng)域,SF6被用作高壓開關(guān)設(shè)備和變壓器中的絕緣氣體和冷卻介質(zhì)。測量六氟化硫?qū)τ谠缙谧R(shí)別泄漏以及監(jiān)測系統(tǒng)狀況非常重要。

測量精度

我們的NDIR氣體傳感器在測量和監(jiān)測六氟化硫時(shí)能夠獲得精確的結(jié)果。通過10點(diǎn)線性化,在整個(gè)測量范圍內(nèi),測量的氣體濃度的最大偏差小于1%。

傳感器可靠地檢測最小氣體濃度,以識(shí)別氣體混合物中的最微小變化。您可以自由選擇應(yīng)用程序的測量范圍,例如從整個(gè)0到100 vol.-%的測量范圍中的90 vol.-%。

由µP.sens壓力傳感器在樣品池塊中補(bǔ)償任何因壓力波動(dòng)或氣壓變化引起的偏差(< 0.1 % / 10 hPa),消除了潛在的泄漏或測量值的偽造。通過將壓力傳感器集成到樣品池塊中,與類似傳感器相比,模塊的整體空間需求減少了。

每個(gè)傳感器都確保了溫度補(bǔ)償。每個(gè)模塊的測試和校準(zhǔn)在氣候室中進(jìn)行,使用特定濃度的測試氣體在測量過程中記錄和調(diào)整誤差曲線。測試和校準(zhǔn)在5至45攝氏度的傳感器操作范圍內(nèi)進(jìn)行,包括零點(diǎn)和跨度點(diǎn),以及傳感器操作范圍內(nèi)的其他典型溫度。最大偏差每10K小于1%。

功能范圍

RS232和CAN-Bus數(shù)字接口是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配置。使用可選配件和MARSlight軟件為您的配置選擇一個(gè)接口。遵循軟件手冊中的說明。

樣品池針對測量高達(dá)100%體積比的六氟化硫進(jìn)行了優(yōu)化。

與常規(guī)傳感器相比,我們的傳感器允許在300 - 1200 hPa寬壓力范圍內(nèi)進(jìn)行測量。例如,傳感器適合更高地理位置或需要負(fù)壓測量的系統(tǒng)。

使用壽命

陽極氧化鋁氣體連接塊確保在惡劣環(huán)境條件下的長壽命和可靠性。不銹鋼氣體連接進(jìn)一步增強(qiáng)了耐用性。

在操作溫度范圍內(nèi)進(jìn)行的氣候室測試消除了組件的過早故障。

安裝和操作

免費(fèi)下載MARS light軟件用于氣體傳感器,立即開始使用您的氣體傳感器。軟件消除了創(chuàng)建自己的軟件的需要,并在初始測試測量上節(jié)省時(shí)間。傳感器消耗不到1瓦,可以使用電池供電的設(shè)備。易于集成,具有9到30伏的寬電壓范圍,使其可以連接到大多數(shù)現(xiàn)有系統(tǒng)。

根據(jù)具體需求,分析前可能需要對氣體進(jìn)行預(yù)冷或加熱。為了防止樣品池中的潛在氣體凝結(jié)效應(yīng),可以監(jiān)測測量系統(tǒng)中的氣體溫度。

我們的模塊化設(shè)計(jì)使清潔和維護(hù)變得簡單,不同于許多同類產(chǎn)品。

有關(guān)安裝和操作的詳細(xì)信息可以在用戶手冊中找到。

我們的數(shù)據(jù)表簡要列出了最重要的技術(shù)細(xì)節(jié)。我們將很高興就您個(gè)別的問題和要求提供咨詢。

應(yīng)用

l在高功率應(yīng)用中的泄漏監(jiān)測

l絕緣氣體的監(jiān)測

l絕緣氣體的質(zhì)量保證

產(chǎn)品優(yōu)勢

l壓力值和氣壓變化的最小偏差(< 0.1% / 10 hPa

l工業(yè)上常用的接口可用

l由于高質(zhì)量材料而維護(hù)成本低

l可用于電池供電設(shè)備

l可以監(jiān)測測量系統(tǒng)中的氣體溫度

l維護(hù)和清潔輕松完成

特點(diǎn)

l10點(diǎn)線性化

l通過集成壓力傳感器進(jìn)行壓力補(bǔ)償

l溫度補(bǔ)償

l數(shù)字接口RS232/CAN-Bus

l具有高化學(xué)抗性的堅(jiān)固設(shè)計(jì)

l可測量氣體溫度

l模塊化設(shè)計(jì)

l對CF4沒有交叉靈敏度

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)

 數(shù)據(jù)

單位

一般

訂單編號

VKM2002985

 

測量原理

NDIR

 

樣品池長度

2

mm

紅外光源的估計(jì)壽命

40 000

h

氣體流量

0.1 - 3

l/min

尺寸

88 x 90 x 60

[mm]

重量

160

g

管道連接

6/4 mm tube

 

電源電氣連接類型

2-pin, 3.5 mm

 

通信連接類型

3 pol. RS232 / 3 pol. CAN-Bus (2.54 mm)

 

測量

測量范圍

0 - 100

Vol.-%

測量氣體

六氟化硫

 

預(yù)熱時(shí)間2

< 10

min

響應(yīng)時(shí)間(t90)

< 5

s

檢測限(3σ)3

< 0.05

% FS

數(shù)字分辨率

0.001

Vol.-%

線性度偏差

< 0.5

% FS

可重復(fù)性

< 0.25

% FS

長期穩(wěn)定性(零)

< 0.5

% FS/ month

長期穩(wěn)定性(跨度)

< 1

% FS/ month

溫度影響(零)

< 0.05

% FS/ 10 K

溫度影響(跨度)4

< 0.5

% FS/ 10 K

位置影響

< 0.5

% FS/ 180 °

壓力影響

< 0.15

% FS/ 10 hPa

發(fā)電

工作電壓

9 ... 30

V DC

最大工作電流

110 mA @ 9 V, 33 mA @ 30 V

 

涌流

220

mA

標(biāo)稱功耗

1

W

數(shù)字輸出信號

RS232 or CAN-Bus

 

輸出格式CAN

MARS/ CAN-Bus

 

輸出格式RS232

ASCII

 

CAN最大數(shù)據(jù)速率

10

ms

RS232最大數(shù)據(jù)速率

100

ms

氣候條件

工作溫度

5 ... 45

°C

儲(chǔ)存溫度

-20 ... 60

°C

空氣壓力

300 - 1 200

hPA

環(huán)境濕度

0 ... 95%相對濕度(不凝結(jié))

hPA

1.                      零點(diǎn)氣體測量:氮?dú)猓幌嚓P(guān)條件為Pa = 1020 hPa;Ta = 25°C;流量 = 1 l/min。

2.                      完整規(guī)格,取決于環(huán)境條件。

3.                      在零點(diǎn)處。

4.                      具有量程溫度補(bǔ)償。

5.                      建議在穩(wěn)定的氣候條件下使用,請檢查露點(diǎn)注意事項(xiàng)。

機(jī)械制圖

俯視圖

MicroFLOW SF6?.100?Vol.-%氣體傳感器 

前視圖

MicroFLOW SF6?.100?Vol.-%氣體傳感器 

側(cè)視圖

MicroFLOW SF6?.100?Vol.-%氣體傳感器 

產(chǎn)品概述

型號

產(chǎn)品名稱

數(shù)字輸出信號

測量范圍

VKM2002977

MicroFLOW CO2 . 5 000 ppm

CAN-Bus or RS232

0 ... 5 000 ppm

VKM2002978

MicroFLOW CH4 . select 10 Vol.-%

CAN-Bus or RS232

0 ... 10 Vol.-%

VKM2002979

MicroFLOW CH4 .10 Vol.-%

CAN-Bus or RS232

0 ... 10 Vol.-%

VKM2002980

MicroFLOW CO . 50 Vol.-%

CAN-Bus or RS232

0 ... 50 Vol.-%

VKM2002981

MicroFLOW CO2 . 50 Vol.-%

CAN-Bus or RS232

0 ... 50 Vol.-%

VKM2002985

MicroFLOW SF6 .100 Vol.-%

CAN-Bus or RS232

0 ... 100 Vol.-%

 



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