光電檢測作為光學與電子學相結合而產生的一門新興檢測技術，具有精度高、速度快、非接觸、壽命長、易于自動化和智能化等優點。其主要通過光學系統把待檢測的非電量信息變換成為便于接受的光學信息，然后用光電探測器件將光學信息量轉換為電信號輸，從而了解待檢測物的光電性能。基于光電掃描測量技術的多模態光電檢測顯微鏡，兼容了極紫外-太赫茲波段的激發光源，通過振鏡和電動位移臺相結合的掃描方式，可以在亞微米分辨率下，實現待測物在變溫環境中的光電流和光電壓、拉曼光譜、熒光壽命等多種特征信號的測試，從而實現在多個維度對待測物進行相應的光電表征。當前，由于多模態光電檢測顯微鏡具有高度靈活的測試維度和兼容眾多主流和儀器儀表，使其被廣泛應用于科學研究、光伏器件檢測、材料微加工和激光改性、定制化檢測等眾多領域。

燭龍™系列中的光電分析和微加工設備-多模態光電顯微鏡是一臺具有超高穩定性的多功能光電綜合測試和微加工系統，可根據客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統集成了電動運動臺和振鏡的掃描方式，可實現瞬態和穩態下的光電流測試和掃描成像，熒光壽命測試和掃描成像，拉曼光譜測試，二次諧波測試，熒光光譜采集，發射和吸收等光譜端的測試和掃描成像。除此之外，整套系統可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發的低溫系統進行相關的變溫測試以及器件表面的微加工和缺陷標記。多模態光電顯微鏡將為眾多新質生產力領域提供強大的支持，助力國內相關領域的發展和科技創新。

燭龍™系列光電分析和微加工設備-多模態光電顯微鏡產品亮點：

超寬的多波長激發光源

- 極紫外-太赫茲波段的超寬譜線覆蓋范圍(266nm-0.8THz)

- 多種可選的穩態光源和瞬態光源

- 提供激光功率和頻率的軟件控制

多功能測試樣平臺

- 支持直流，交流以及高頻探針（漏電流<100fA）

- 支持常溫和變溫下的引線鍵合測試（10K-450K）

- 支持常溫和變溫下的探針測試（77K-450K）

- 兼容2450，4200，6221等多種源表

- 兼容OE1201，SR810等多種鎖相放大器

多功能測試和微加工模組

- 支持光電流測試和掃描成像

- 支持二次諧波和電致發光測試

- 支持器件表面的微加工和缺陷標記

- 支持電動位移臺和振鏡的多種掃描方式

- 支持熒光壽命和拉曼光譜測試和掃描成像

系統高度自動化

- 電動顯微聚焦

- 多種可選的光采集模式

- 瞬態和穩態光源和光路的電動切換

- 線偏振光和圓偏振光的電動偏振測試