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SENTECH RM 1000 QC 自動(dòng)光譜反射儀

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反射光譜

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工

1. 產(chǎn)品概要

SENTECH RM 1000 QC反射儀設(shè)計(jì)用于快速簡單地測量透明或吸收基材上的透明和半透明薄膜的厚度,用于工業(yè)生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制。該工具涵蓋 20 nm 至 50 μm 的膜厚范圍,可用于< 100 μm 的測試圖案。

2. 主要功能與優(yōu)勢

半自動(dòng)桌面質(zhì)量控制

SENTECH RM 1000 QC是一款光學(xué)反射儀,用于對圖案化基板上的薄膜和散裝材料進(jìn)行質(zhì)量控制。它是小規(guī)模和大規(guī)模生產(chǎn)中隨機(jī)抽樣、工具鑒定和統(tǒng)計(jì)過程控制 (SPC) 的理想選擇。

通過手動(dòng)晶圓處理對圖案化晶圓進(jìn)行質(zhì)量控制

SENTECH RM 1000 QC 易于手動(dòng)裝載。然后,對于圖案化的 200 mm 晶圓,模式識(shí)別、映射測量、分析以及報(bào)告結(jié)果和統(tǒng)計(jì)信息都自動(dòng)化。

集成到實(shí)驗(yàn)室和晶圓廠環(huán)境中

SENTECH RM 1000 QC 可選擇通過 SECS/GEM 集成到制造執(zhí)行系統(tǒng)中。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH RM 1000 QC 光譜反射儀提供法向入射的反射率光譜,SENTECH SpectraRay/4 軟件分析的參數(shù)包括薄膜厚度、吸收、成分、能隙、顏色和光譜帶寬。模式識(shí)別用于測量結(jié)構(gòu)化樣本。

該工具的操作流程其簡單,只需放置晶圓,啟動(dòng)自動(dòng)化過程,工具就會(huì)返回準(zhǔn)確的模式識(shí)別、測量和映射,以及精確、可重復(fù)的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。

SpectraRay/4 是用于 SENTECH RM 1000 QC 的綜合光譜橢偏儀軟件。它包括兩種操作模式:配方模式和交互模式。配方模式允許輕松執(zhí)行常規(guī)應(yīng)用程序。交互模式通過交互式圖形用戶界面引導(dǎo)橢圓測量。




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