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CAPELLA系列 MPI探針臺

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產(chǎn)品概述:

   探針臺是一種精密的電子測試設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。它集成了載物臺、光學(xué)元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個(gè)部分,能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,從而進(jìn)行高精度的電氣測量。探針臺根據(jù)操作方式可分為手動、半自動和全自動三種類型,每種類型都有其特定的應(yīng)用場景和優(yōu)勢。

2 設(shè)備用途:

探針臺的主要用途包括:

  1. 半導(dǎo)體測試:在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),探針臺負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。它廣泛應(yīng)用于晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

  2. 光電行業(yè)測試:在光電行業(yè)中,探針臺同樣用于測試光電元件和組件的性能,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。

  3. 集成電路測試:探針臺可用于集成電路的測試,包括功能測試、電參數(shù)測試等,幫助工程師評估和優(yōu)化集成電路的性能。

  4. 封裝測試:在封裝工藝之前,探針臺可以對封裝基板進(jìn)行測試,確保封裝過程中不會出現(xiàn)質(zhì)量問題。

3 設(shè)備特點(diǎn)

探針臺具有以下顯著特點(diǎn):

  1. 高精度:探針臺配備高精度的定位系統(tǒng)和微調(diào)機(jī)構(gòu),能夠精確地將探針定位到芯片上測試點(diǎn),并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的接觸,確保測試的準(zhǔn)確性和可靠性。

  2. 多功能性:探針臺可用于多種測試場景,包括晶圓檢測、芯片研發(fā)、故障分析、網(wǎng)絡(luò)測量等,具有廣泛的應(yīng)用范圍。

  3. 自動化程度高:全自動探針臺通常配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)、模式識別(自動對準(zhǔn))等功能,能夠自動完成測試序列,減少人工干預(yù),提高測試效率。

  4. 靈活性:探針臺可根據(jù)測試需求進(jìn)行配置和調(diào)整,如可選配接入光纖,將電學(xué)探針替換為光纖,提高測試靈活性。

設(shè)備參數(shù):

  出色的測試精度:短 DUT ISP 分離,實(shí)現(xiàn)佳光收集,骰子偏移補(bǔ)償

  通過熱卡盤支持實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確穩(wěn)定的溫度控制。

  可編程拾取和放置力在5g~200g之間。

 全屏蔽暗盒設(shè)計(jì)消除了不必要的照明干擾。

  具有高引腳數(shù)探測能力(4 ~ 256 通道)的多站點(diǎn)測試,可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。

  電學(xué)/光學(xué)特性的綜合統(tǒng)計(jì)和分析工具:色度 (xyz)、強(qiáng)度、輻照度。




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