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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>化學機械拋光機(CMP)>POLI-762 CMP拋光機

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POLI-762 CMP拋光機

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拋光機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










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1.  產品概述:

CMP拋光機,全稱為化學機械拋光機,是一種針對薄膜(如介質層)進行拋光處理的設備。它結合了化學刻蝕和機械摩擦的綜合作用,通過精確控制拋光過程中的化學和機械參數,實現對晶圓表面材料的精細去除和平坦化處理。CMP拋光機具有操作便捷、兼容性強等特點,能夠根據不同尺寸和類型的晶圓進行適配,并通過更換拋光壓頭等方式實現多種拋光工藝的需求。

2.  設備用途/原理:

CMP拋光機在半導體制造中扮演著至關重要的角色,其主要用途包括:

1. 晶圓表面平坦化:在集成電路制造過程中,CMP拋光機用于對晶圓表面進行平坦化處理,以消除表面起伏和缺陷,提高晶圓表面的平整度。這對于后續工藝步驟的順利進行和芯片性能的提升至關重要。

2. 薄膜厚度控制:CMP拋光機能夠精確控制晶圓表面薄膜的厚度,確保薄膜厚度達到設計要求。這對于提高芯片的性能和可靠性具有重要意義。

3. 特殊材料加工:除了集成電路制造外,CMP拋光機還廣泛應用于3D封裝技術、特殊材料加工等領域。例如,在3D封裝技術中,CMP拋光機用于處理芯片之間的連接面,以確保連接的精確性和可靠性。

3.  設備特點

CMP拋光機具有以下幾個顯著特點:

1 高精度控制:CMP拋光機采用先進的控制系統和精密的機械結構,能夠實現對拋光過程中各項參數的精確控制。這包括拋光壓力、拋光盤轉速、拋光頭轉速等關鍵參數,從而確保拋光效果的穩定性和一致性。

2 多工藝兼容:CMP拋光機具有較強的兼容性,能夠根據不同材料和工藝的需求進行適配。通過更換拋光壓頭、調整拋光液配方等方式,CMP拋光機可以實現對多種材料和工藝的拋光處理。

3 自動化程度高:現代CMP拋光機通常配備有自動化上下片系統、自動清洗系統等輔助設備,能夠實現拋光過程的自動化操作。這不僅提高了生產效率,還降低了人工操作帶來的誤差和風險。

4 環保節能:CMP拋光機在設計和制造過程中注重環保和節能。例如,采用低能耗的電機和傳動系統、優化拋光液配方以減少廢液排放等措施,都有助于降低設備運行過程中的能耗和環境污染。

綜上所述,CMP拋光機作為半導體制造領域的重要設備之一,具有高精度控制、多工藝兼容、自動化程度高和環保節能等特點。隨著半導體技術的不斷發展和進步,CMP拋光機也將不斷升級和完善,為半導體制造行業的發展提供更加有力的支持。
4 設備參數

項目/型號

POLI-762

大晶圓尺寸

12英寸

拋光盤尺寸

?762mm30inch

拋光盤轉速

30~200 RPM

拋光頭轉速

30~200 RPM

Wafer壓力

70~350g/cm2 氣囊柔性加壓

往復式修整系統

可升擺臂式修整系統

摩擦力&溫度監測系統

可選配,可增選EPD功能

半自動loading托盤

可選配

拋頭分區加壓

可選配

供液系統方式

蠕動泵,獨立3路通道





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