TU-105LM /LMJ 日本全新 TAISEI 蝕刻CVD真空氣體除粉器
| 參考價 | ￥ 13448 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 TAISEI/日本
- 型號 TU-105LM /LMJ
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/7/11 8:58:06
- 訪問次數(shù) 368
聯(lián)系方式：楊樹15622816333 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥,綜合 |
日本全新 TAISEI 蝕刻CVD真空氣體除粉器
日本全新 TAISEI 蝕刻CVD真空氣體除粉器
大成技研株式會社提供的“氣體粉末去除裝置”主要去除半導體、液晶制造設備（離子注入、CVD、蝕刻等）中排出的氣體反應生成物（微細粉末）。
特別是，通過旋轉(zhuǎn)渦流吸附和高性能磁性元件，可以排除離子注入和CVD設備中產(chǎn)生的1μm以下的反應產(chǎn)物。該裝置在元件內(nèi)幾乎沒有壓力損失，可用于真空泵的前級和后級，是一種創(chuàng)新的粉末捕集器，可以輕松處理現(xiàn)有過濾器無法去除的細粉末。它有望顯著減少維護工時并提高生產(chǎn)率。
TRAPACK是一種粉末去除捕集器，可去除半導體和液晶制造設備廢氣中的反應產(chǎn)物（細粉）。結構有渦流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及兩者結合的組合型三種。特別是，組合型排除了蝕刻設備和CVD設備發(fā)出的亞微米細粉。
清潔廢氣管道 減少前線閥門的維護 真空泵故障預防 提高生產(chǎn)力 減少前線維護
外觀結構 特征
去除細小反應產(chǎn)物（細粉）
單元密度低，網(wǎng)格空隙大
粉末分層在元件的表面和內(nèi)部。
主要用途 規(guī)格
注入 ?一次元件/Trapac元件
蝕刻 ?次要元素/無
安裝位置/真空、排氣
TU-KN100
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：DL
端口尺寸：NW25
尺寸：D90mm x H195mm
重量：1.9kg
TU-KN200
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：EL
端口尺寸：NW40
尺寸：D140mm x H210mm
重量：4.6kg
TU-KN500
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：GL
端口尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H260mm
重量：10kg
TU-KN500W
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：HL
接管尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H390mm
重量：13kg
TU-200
（元件型） 主要用途：
植入 元件類型：EL
連接尺寸：NW25
尺寸：D210mm x H210mm
重量：5.3kg
TU-250
（元件型） 主要用途：
植入 元件類型：FL
連接尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H295mm
重量：6.5kg
TU-500
（元件型） 主要應用：廠內(nèi)/蝕刻
元件類型：GL
連接直徑：NW40
尺寸：D300mm x H267mm
重量：10.0kg
TU-500W
（元件型） 主要應用：植入/蝕刻
元件類型：HL
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H415mm
重量：13kg
TU-1000
（元件型） 主要應用：就位/蝕刻
元件類型：GL
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H555mm
重量：16.5kg
頁首
TRAPPACK（Uzu型）
這是一種氣體除粉裝置，是 Trapac 的進一步發(fā)展，配備了漩渦型元件。
外觀結構 特征
由于螺旋結構，粉末不會長時間經(jīng)歷壓力損失
幾乎所有粉末都被渦流數(shù)和渦流螺距的組合拒之門外。
粉末分層在安裝的渦流元件的表面上。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / 無 ?安裝位置 / 真空、排氣
TU-50LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-50 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□370mm x H707mm
重量：53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-65 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□400mm x H1013mm
重量：94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-85 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□430mm x H1064mm
重量：100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-95 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□485mm x H1064mm
重量：145kg / 160kg
TU-105LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-105 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□535mm x H1264mm
重量：180kg / 240kg
頁首
TRAPPACK（組合型）
TRAPACK的進一步進化，配備組合型元件（渦流型+元件型）的氣態(tài)除粉裝置。
外觀結構 特征
去除細小反應產(chǎn)物（細粉）
單元密度低，網(wǎng)格空隙大
粉末在螺旋和元件部分分層。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位
相關分類
- 煙氣分析儀
- 甲醛分析儀
- 粉塵測定儀/粉塵儀
- 紅外線氣體分析儀
- 多組分氣體分析儀
- 一氧化碳分析儀
- 二氧化碳分析儀
- 氨氣分析儀/氨分析儀
- 汽車尾氣分析儀
- 有毒有害氣體監(jiān)測儀
- 臭氧檢測儀
- 煙氣/大氣重金屬在線分析儀
- 高純氣/特氣分析系統(tǒng)
- VOC檢測儀/TVOC檢測儀
- 臭氧分析儀(O3)
- 熱導式氣體分析儀
- CO、SO2、HCL、NOX、空氣檢測儀
- PM2.5/PM10/PM1/TSP大氣顆粒物監(jiān)測儀
- 甲烷/非甲烷烴檢測儀
- 氮氧化物分析儀（NOX)
- 油煙檢測儀
- 惡臭測定儀
- 氣體采樣器/大氣采樣器
- 粒子計數(shù)器
- 煙塵采樣器、煙氣采樣器
- 顆粒物采樣器
- 零氣發(fā)生器
- TSP采樣器
- 空氣微生物采樣器
- PM2.5采樣器
- PM10采樣器
- 粗、細顆粒物雙道采樣器
- 二噁英采樣儀/二噁英采樣器
- 酸雨采樣器
- 激光雷達
- 太陽光度計
- 塵量分析儀
- 氣體稀釋儀
- 煙度計
- 氣溶膠
- 氣體在線自動監(jiān)測系統(tǒng)
- 灰霾監(jiān)測系統(tǒng)
- 空氣質(zhì)量自動監(jiān)測系統(tǒng)
- 煙氣汞連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)
- 氣體報警器/探測器/傳感器
- 環(huán)境污染事故應急監(jiān)測儀器
- 溫室氣體監(jiān)測儀
- 蘇瑪罐采樣器
- 揚塵監(jiān)測儀
- 降水/降塵自動采樣監(jiān)測儀
- 煙氣汞采樣器
- 氨逃逸在線監(jiān)測系統(tǒng)
- 粒徑譜儀
- 其它氣體檢測
該廠商的其他產(chǎn)品
- TU-4100/J 日本TAISEI大成技研 組合式濾芯粉末捕集器
- TU-4100/J 日本原裝TAISEI大成技研 氣態(tài)除粉設備
- TU-3100/J TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置
- TU-1500/J 池田屋現(xiàn)貨TAISEI 蝕刻氣態(tài)除粉真空裝置
- TU-1500/J 原裝全新TAISEI 蝕刻CVD氣態(tài)除粉裝置
- TU-105LM /LMJ 原廠現(xiàn)貨TAISEI 蝕刻CVD氣態(tài)除粉裝置
- TU-95LM /LMJ 池田屋現(xiàn)貨 TAISEI 蝕刻CVD氣體除粉器
- TU-95LM /LMJ 供貨日本TAISEI 蝕刻CVD氣體除粉器
采購中心
化工儀器網(wǎng)