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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>去膠機>KS-S300-ST 單片濕法去膠機

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KS-S300-ST 單片濕法去膠機

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去膠

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

用于先進封裝工藝過程中的晶圓去膠制程和金屬剝離制程。設備可搭載槽式浸泡單元、高壓噴淋或二流體噴淋去膠單元、清洗及干燥單元等工藝模塊,滿足各種品牌型號、各種厚度的正負性光阻去除及金屬剝離等工藝。具有藥液回收循環過濾再使用、金屬高效率回收等功能。                 

2. 產品優勢  

1.槽式浸泡與單片旋轉噴淋方式相結合,提高產能
2.高壓或二流體噴淋可除去光刻膠
3.基片干進濕傳干出
4.去膠液回收、循環過濾再使用,降低用戶成本
5.貴重金屬回收

3. 應用域

●封裝域中的光阻去除工藝,掩膜版清洗等
●OLED 域中的光阻去除及蒸鍍后金屬剝離等工藝

 




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