中圖儀器SJ6000長距離高精度長度激光干涉測量儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。

SJ6000長距離高精度長度激光干涉測量儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

在機床領(lǐng)域中的應(yīng)用

1.測量機床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

導(dǎo)軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時進行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標(biāo)準要求，從而為后續(xù)的機床調(diào)整和校準提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況，及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài)，保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。

對數(shù)控機床進行螺距誤差補償

在計量檢定領(lǐng)域的應(yīng)用

1、測長機檢定

傳統(tǒng)的測長機示值誤差主要采用量塊進行校準，受環(huán)境因素影響較大，校準條件要求高，且量程大于1m的測長機需要分段校準，效率低，而使用激光干涉儀進行校準，不僅可以提高效率，還可通過環(huán)境補償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進行補償，提高校準精度。

2、三坐標(biāo)測量機示值誤差測量

隨著三坐標(biāo)測量機技術(shù)的更新和發(fā)展，使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測量機的檢測要求，激光干涉儀測量準確度高，測量范圍大，測量數(shù)據(jù)豐富，適合測量三坐標(biāo)各項幾何誤差。

3、位移傳感器檢定

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點是測量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計一個精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標(biāo)準)對定長位移進行測試對比,得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。

4、影像儀定位精度測量

影像儀傳統(tǒng)檢測方法采用線紋尺比對法進行，存在著檢測精度低、測量系統(tǒng)誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準、 檢測效率低下等問題。使用激光干涉儀可以對影像儀的定位誤差進行快速檢測，對測量數(shù)據(jù)進行運算分析，利用軟件生產(chǎn)補償文件快速實施二維平面多點位補償，可大大降低設(shè)備制造過程中的精度檢測難度、提升檢測效率及補償效率。