LGR推出的/氟化氫分析儀可以同時測量大氣環(huán)境或者工業(yè)流程中的HCl、HF和水汽濃度，高精度、高靈敏度。分析儀可以提供秒級的測量速度，同時精度達到ppb級。測試結(jié)果表明，分析儀不受其他氣體種類和氣壓的干擾。

分析儀采用LGR設計的離軸積分腔輸出光譜（OA-ICOS）技術，它消除了CRDS技術在測量期間需要連續(xù)進行光腔與激光波長匹配以改善信號強度微弱的缺點，使得分析儀不再需要進行復雜的激光準直調(diào)整、溫度控制和波長監(jiān)控。可以實時顯示高分辨率激光吸收光譜。采用內(nèi)置計算機（Linux OS）以提供數(shù)據(jù)的連續(xù)存儲和測量。具有遠程控制功能，用戶可以通過網(wǎng)絡在任意地點對分析儀進行操作，也可以通過遠程登錄實時共享數(shù)據(jù)，并進行儀器診斷。

特點：

      1.      的測量響應

      2.      濃度測量范圍更寬

      3.      低能耗，更適合野外現(xiàn)場應用

      4.      采用LGR控溫技術，實現(xiàn)最小漂移與超高穩(wěn)定性

      5.      HCl與HF同時測量

性能指標：

      再現(xiàn)性/精度 Repeatability/Precision（1σ）：

      HF: <0.1 ppb（1 sec）、<0.07 ppb（10 sec）、<0.05 ppb（100 sec）

      HCl: <0.4 ppb（1 sec）、<0.25 ppb（10 sec）、<0.1 ppb（100 sec）

       響應時間 Response Time(Flow time through meas. Cell):

        <2 s (with external N920 vacuum pump)

測量量程 ：

        HF: 0.3-20000 ppb

        HCl: 0.3 -2000 ppb

運行范圍:

       HF: 0-10 ppm

       HCl: 0-10 ppm

       H2O: 10-20000 ppm (無冷凝)