美國艾默生TESCOM半導體用壓力調節器減壓閥 12系列 特點介紹

采用技術的0EM氣體系統

用于的產品

·通過超高靈敏度的壓力調整來提高MFC性能

強化

在廣泛的應用中

性能

2sccm至120SLPM的流量

DROOP和可重復性

隔膜/主體為金屬硅

表面全部為10Ra或5Ra加工

美國艾默生TESCOM半導體用壓力調節器減壓閥 12系列 規格參數

以ANSI/ASME B31.3為基準

入口莊力..............1.03MPa（10 kg/cm2）

出口壓力范圍:

20 in Hg-0.1MPa,0.01-0.21，0.02-0.41&0.02-0.69MPa

(20 in Hg-1 kg/cm2,.1-2,.2-4..2-7 kg/cm2)

設計耐壓................最大壓力的150%

設計耐破裂壓力......最大壓力的400%

認證的最大內部限制:

<1 X 10-9 atmcc/secHe

操作溫度....................-40%C~攝氏60度

(-40°F~140*F)

流量......................2sccm-120SLPM

流體接觸部材質

機身.................無線316LVAR

隔膜................八固體

PCTFE

閥門桿.................斯泰勒斯316L

其他零件.................316

其他材質也可以變更，請咨詢。

接続

集成模型..1.125”或1.50”英尺”林特

焊接頭.....1/4”VCR或1/4”片狀短管

重量

錄像機，IGS................0.27kg

A型................0.49kg

內部容量......................1.53cc