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FB系列 真空爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
  • 型號(hào) FB系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2025/6/5 14:34:45
  • 訪問(wèn)次數(shù) 432
產(chǎn)品標(biāo)簽

真空爐FB系列

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 箱式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

1 產(chǎn)品概述:

   真空爐是一種在爐腔內(nèi)利用真空系統(tǒng)(由真空泵、真空測(cè)量裝置、真空閥門等元件組成)將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出,使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,從而實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)的加熱設(shè)備。其爐膛通常由金屬罩殼或石英玻璃罩密封,并通過(guò)管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接,以達(dá)到所需的真空度。真空爐的加熱方式多樣,包括電阻加熱、高頻感應(yīng)加熱等,最高溫度可達(dá)3000℃左右。

2 設(shè)備用途:

真空爐的用途非常廣泛,主要包括以下幾個(gè)方面:

  1. 熔煉金屬材料:真空爐能夠提供高溫和低壓環(huán)境,使金屬材料在熔融狀態(tài)下更容易排除雜質(zhì)和氣體,從而提高材料的純度和均勻性。

  2. 燒結(jié)陶瓷和粉末材料:在高溫下提供無(wú)氧環(huán)境,避免材料氧化和污染,使燒結(jié)效果更好。

  3. 熱處理金屬材料:提供高溫下的穩(wěn)定、均勻的加熱環(huán)境,用于提高材料的硬度、韌性等力學(xué)性能。

  4. 太陽(yáng)能電池生產(chǎn):用于制備太陽(yáng)能電池中的硅片,進(jìn)行摻雜、燒結(jié)等工藝。

3 設(shè)備特點(diǎn)

真空爐的特點(diǎn)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

  1. 清潔表面:消除了加熱過(guò)程中工件表面的氧化、脫碳,可獲得無(wú)變質(zhì)層的清潔表面,這對(duì)于改善切削性能等具有重要意義。

  2. 環(huán)保無(wú)污染:整個(gè)加熱過(guò)程在真空環(huán)境下進(jìn)行,對(duì)環(huán)境無(wú)污染,無(wú)需進(jìn)行三廢處理。

  3. 高精度控制:爐溫測(cè)定、監(jiān)控精度明顯提高,熱電偶的指示值與爐溫溫度可達(dá)到較高的精度。

  4. 機(jī)電一體化:現(xiàn)代真空爐的機(jī)電一體化程度高,工件移動(dòng)、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預(yù)先編程設(shè)定,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作。


4
技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):

通過(guò)采用9分割溫度控制的in-Line方式,實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的均熱性能和較高的生產(chǎn)性能。

由于可對(duì)應(yīng)從低真空到高真空的各種用途,可以選擇合適的排氣系統(tǒng)。






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