HORIC D200系列擴散/氧化系統

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HORIC D200系列擴散/氧化系統北方華創

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

1. 產品概述

HORIC D200系列 擴散/氧化系統，半導體客戶端機臺裝機量大。

2. 設備用途/原理

HORIC D200系列 擴散/氧化系統，半導體客戶端機臺裝機量大。可根據客戶需求配置多工藝組合的機臺。安全性能高：設備及所使用的元件符合國標和國際標準。可提供優良成熟的 MES 系統解決方案。優異的工藝技術支持。

3. 設備特點

晶圓尺寸 4、6、8 英寸，適用材料硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝磷擴散、硼擴散、氧化、退火、合金。適用域科研、化合物半導體。擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。