Xevios多用途清洗裝置高壓脈沖噴射清除異物  特點介紹

兼容晶圓、石英、玻璃、藍寶石、SiC等多種材質。

結合高壓間歇噴射、二流體噴射、各種刷子、超聲波、化學溶液等，可應對從粗加工到各種清洗工藝。拋光后清洗至精密清洗。

Xevios多用途清洗裝置高壓脈沖噴射清除異物  規格參數

一種多用途清潔裝置，可在一個腔室中清除異物、有機物和金屬污染物。

[設備概述] 結合雙面擦洗清洗和化學處理的設備，適用于各種晶圓尺寸和材料

[應用實例] 成膜前清洗 外延后清洗 蝕刻后拋光清洗 剝離清洗

一種使用高壓脈沖噴射來清潔各種載體（盒）和盒子，同時使用鉸接式機器人與待清潔物體保持恒定距離的設備。

[應用示例] 盒式（載體）清洗 盒式清洗

用于去除頑固物質和金屬污染物的設備

[設備概述]

集盤刷清洗、滾刷清洗、化學清洗于一體的小批量生產設備。

[應用實例] 貼膜前清洗

一種在不接觸工件的情況下清潔工件正反面和邊緣的裝置。

[設備概述]

單晶圓清洗設備，用表面活性劑和純水擦洗去除拋光晶圓，然后進行兆頻超聲波噴淋、漂洗和旋轉干燥。

[應用實例] 拋光后清洗

以過濾水或純水為介質進行鏡面拋光、粗拋、清洗等的拋光設備。

[應用實例] 鏡面加工、鏡面加工、端面異物清理