日本kokusai高頻電源用等離子體、半導體等 特點介紹

這是用于半導體制造設備和工業加工機器等離子發生的高頻電源。我們生產各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒。

我們利用在無線通信系統開發中長年積累的高頻技術，實現了高反射電阻。

在等離子體阻抗分析的支持下，可以優化匹配盒，提高匹配收斂速度。

日本kokusai高頻電源用等離子體、半導體等 規格參數

通過采用具有高反射功率容限的最新器件，我們實現了即使在全反射狀態下也能在一定時間內實現輸出的設計，無需隔離器且無輸出下降。

高頻電源的設計必須假設負載會動態變化。例如，即使等離子體點燃前后出現較大的負載波動，反射系數從無窮大變為零，器件也一定不會損壞。

一般情況下，如果負載情況不好，可以降低輸出，以保護器件本身，并在匹配盒完成匹配操作后，輸出的輸出，也可以應用于無法完成的應用。時間。

*1RF：射頻*2RF 上升時間：RF 輸出從 10% 上升到 90% 的時間

RF 下降時間：RF 輸出從 90% 下降到 10% 的時間

頻率HF頻段、VHF頻段 

輸出功率5/10/20/30/40KW 

輸出方式連續、脈沖 

這是用于半導體制造設備和工業加工機器等離子發生的高頻電源。我們生產各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒。

我們利用在無線通信系統開發中長年積累的高頻技術，實現了高反射電阻。

在等離子體阻抗分析的支持下，可以優化匹配盒，提高匹配收斂速度。