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FMSS系列方臺面整體平移臺

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上海攸亦光電科技有限公司是一家專注于光譜技術和應用開發的科技企業,提供紫外,可見,近紅外,中紅外到太赫茲范圍的光電產品,包括光學元件,光學儀器,光譜儀,光學機械,成像系統,以及各種定制產品和服務。為科研院所和企業客戶提供專業的應用咨詢和產品解決方案。



光學元件、光學儀器、光纖器件、光學成像、光機械

產地類別 國產 產品種類 電動
價格區間 面議 應用領域 綜合

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS系列方臺面整體平移臺

l行程覆蓋38mm、48mm

l?形臺面設計

l集成式?體化交叉滾柱導軌

l靜音位移臺

l免費標準版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產品簡介

FMSS系列方臺面整體平移臺:精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產品非常難于設計。我們經過三年研發,反復測試,終于推出了該系列產品,并成功應?于商業化原子力顯微鏡。FMSS系列產品采?進口直線電機,集成?體式交叉滾柱導軌和光柵尺,速度均勻性波動在千分之?以內。在保證精度、承載前提下,將體積壓縮至最小。

產品應用

l激光打靶

l晶圓打磨

l激光工業

l美醫療

l高級儀器設備

l原?力顯微鏡

性能實測

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS系列方臺面整體平移臺

接線定義

電機接?

FMSS系列方臺面整體平移臺

反饋接?

FMSS系列方臺面整體平移臺

產品圖紙

FMSS90C-38

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS125C-48

FMSS系列方臺面整體平移臺

產品參數

Model

FMSS90C-38

FMSS125C-48

行程(mm)

38

48

負載(Kg)

4

10

分辨率(μm)

0.1

0.1

最?步進量(μm)

0.3

0.3

單向重復定位精度/保證值(μm)

±0.3

±0.5

單向重復定位精度/典型值(μm)

±0.2

±0.3

雙向重復定位精度/保證值(μm)

±0.6

±1

雙向重復定位精度/典型值(μm)

±0.3

±0.5

定位精度/保證值(μm)

±2

±2

定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

最?速度(mm/s)

100

100

直線度(μm)

5

5

平整度(μm)

5

5

偏擺(arcsec)

10

10

俯仰(arcsec)

10

10

持續推力(N)

6

17.6

峰值推力(N)

24

88

重量(kg)

1.1

2.1





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