產品簡介：

可采用多種壓電自感應探針的原子力顯微鏡（AFM），研究特質、。實現形貌成像分析和譜曲線測量功能，測試環境免激光干擾，適合與光譜儀器聯用。

儀器特點

• 標配支持多種壓電自感應探針，包括Akiyama探針和WinSPM探針。

• 測量成像無需激光檢測，可避免環境光線對樣品及測量的影響。

• 內部空間足夠安裝高倍光學物鏡，可實現與光譜儀器的共聚焦聯用。

• 采用超高精度嵌入式測控系統，主機隔音抗震，測量成像更精準。

• 可選配平面閉環型掃描器、納米加工模塊和靜電力顯微鏡等模塊。

• 支持探針自制、功能定制和應用拓展。

主要技術參數

• 一鍵式快速自動進樣，行程23mm，最小步距10nm。

• 手動樣品調節二維臺，調節范圍±8.0mm。

• 樣品尺寸的直徑20mm，厚度20mm。

• 標配管型掃描器，掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

• 可配平面閉環型掃描器，掃描范圍約為30μm×30μm×9μm，閉環分辨率約1.5nm。

• 樣品逐行掃描成像，掃描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次掃描多幅圖像，圖像分辨高達2048×2048物理象素。

• 自感應探針采用頻率調制方式，數字化PID反饋控制的響應時間為10μs。

• 嵌入式測控系統采用主頻為450MHz的雙核處理器（ARM + DSP），內置數模混合結構的鎖相放大器，與上位機連接采用以太網TCP/IP通訊協議。

• 聯用光學物鏡的最短工作距離僅需9.5毫米，能夠安裝放大倍數為100X的光學物鏡。

標準配置：

• 主控制器

• 主機底座及隔音罩

• 主機探頭及探針架（A型和D型）

• 樣品調節二維臺（調節范圍±8.0mm）

• 管型掃描器（掃描范圍20μm）

• 專用計算機及測控軟件

• 儀器附件

選配模塊：

• 與光譜儀聯用模塊，包含：光學物鏡及其位置調節平臺（調節范圍±5.5mm）、與光譜儀的光路適配、聯用測控所需的硬件與軟件

• 掃描隧道顯微鏡（STM）模塊，包括：掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、WinSPM T-Probe探針架

• 納米加工模塊，包括：圖形化納米加工、機械刻蝕、矢量掃描等功能

• 輔助觀察光學顯微鏡系統：物鏡倍數：0.7X～4.5X；總放大倍數：42-266X連續可調（14”有效顯示面積）；工作距離：115mm

• 管型掃描器模塊：掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規格

• 平面閉環掃描器：掃描范圍為30μm×30μm×9μm，閉環分辨率約1.5nm，垂直方向的諧振頻率約40kHz

應用領域及實驗

• 實驗一：在無環境光干擾的條件下研究材料表面的形貌等物性，典型的應用領域包括：納米材料研究、光電/發光材料及器件、二維材料及器件、集成電路檢測。

• 實驗二：納米微區的力學測量與分析，典型應用包括：力梯度-距離曲線、納米力學實驗研究、納米臺階或液膜厚度的測量分析，納米尺度粘彈物性的測量分析。

• 實驗三：與光譜儀器的聯用，如與拉曼光譜聯用可原位測得納米微區的拉曼光譜，或開展針尖增強拉曼光譜（TERS）實驗研究。（需增配與光譜儀聯用模塊）

• 實驗四：掃描隧道顯微鏡（STM）應用，包括形貌成像和隧道譜。（需增配STM模塊）

• 實驗五：納米加工實驗，如圖形化納米刻蝕實驗研究。（需增配納米加工模塊） 

• 實驗六：其它基于導電針尖的原子力顯微鏡應用領域及實驗，包括：導電原子力顯微鏡（C-AFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、開爾文探針力顯微鏡（KPFM）等。（需增配或定制相應的功能模塊）。