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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>其它實驗室常用設備>其它實驗室設備>MSK-PSE-ALD1010 原子層沉積系統

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MSK-PSE-ALD1010 原子層沉積系統

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    深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業研發部門的國家技術企業,長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發一站式服務平臺,為科學研究與產業孵化賦能。
    深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯盟,目前已經搭建輻射的服務網絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。


    深圳科晶創立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品,產品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。


    公司2008年開始進行材料相關研發設備和鋰電池實驗設備的開發,經過十多年的積累深圳科晶現已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規劃者和提供者,產品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。
    主要產品系列:按應用與工藝更新產品系列
    •  材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等);
    •  電池研發實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案);
    •  電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內標準等);
    •  鋰離子電池中、小試生產制備全流程系統裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案);
    •  燃料電池研發實驗制備裝備(包括固體氧化物、質子交換膜燃料電池等制備方案);
    •  鈣鈦礦太陽能電池研發實驗制備;
    •  功能薄膜研發實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等);
    •  高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等);
   

公司設立了開放的研發實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業,可實現公斤級別材料制備及電池研發,能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發工作。


    深圳科晶強大的研發團隊支撐了豐富的產品鏈,針對現有產品具有*知識產權的發明和實用新型共40多項(包含PCT和國內發明),并參與行業多項標準制定且獲得多個行業協會認可。


    本著“精誠合作、創新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業簽署產學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現場測試體驗,配備行業資深的售前技術人員協助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協助細分領域的科研工作者快速掌握產業工藝,從而專注前沿研發。

材料科學是基礎科學??v觀人類科技的發展歷史,新型材料的發現和應用將帶來巨大的產業機遇,而*實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障。科晶團隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發展做出貢獻。


電池研發實驗設備(扣式電池,軟包電池,圓柱電池)

產地類別 國產 應用領域 能源,電子/電池,綜合

MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統


 功能特點


  • 外熱式反應腔體,加熱結構在真空室外,反應腔室維護保養無需拆卸腔室加熱器或樣品臺加熱器;

  • 配有可拆卸片托,支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品;

  • 3路前驅體源系統(包括2路金屬源和1路水源);

  • 高性能真空系統和殘余前驅體源處理熱阱;

  • 自動控制沉積系統和工藝壓力實時檢測顯示;

  • 可置于手套箱底部與手套箱對接;

  • 可視化的操作界面,實時顯示系統各部分運行狀態,可方便的調節溫度、流量、脈沖時間等參數,編輯并保存配方參數;

  • 多用戶權限分配,軟硬件互鎖,異常報警、緊急停機等功能確保安全性;

  • 沉積模式可設為連續模式或停流模式;

  • 外置移動支架顯示器操作。


MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統

  技術參數
電源三相五線制AC380V±10%,頻率50Hz/60Hz,功率約12KW
反應腔體腔室外熱式單腔腔室
樣品尺寸最大100mm*100mm方片及以下尺寸
反應溫度最高150℃
前驅體源系統金屬源2路標準加熱前驅體源
配置Swagelok高溫快速ALD閥(響應時間<10ms)、手動隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶
源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃
水源1路水源
配置Swagelok高溫快速ALD閥(響應時間<10ms)、手動球閥和50mL不銹鋼源瓶
載氣系統2路載氣系統
全套管路+VCR密封,前驅體源管路具有在線清洗功能
真空系統極限真空小于5×10-3Torr
真空漏率小于5×10-7Pa·L/s
真空泵抽速40m3/h
其他配置真空泵前級配置熱阱,加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應的前驅體源
真空計真空計前設有保護真空計的高效過濾網,沉積過程中可以實時監測顯示腔室壓力的變化
主機PLC+4U工控機+顯示器




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