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C60 20S C60-20S 離子源系統(tǒng)

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離子源離子束濺射儀

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束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實驗室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作,迅速成為業(yè)界儀器供應(yīng)商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠信的年輕團(tuán)隊,我們熱忱的信仰科學(xué),相信科學(xué)技術(shù)能為我們的客戶帶來質(zhì)量較高的生活,為社會的進(jìn)步起到積極的促進(jìn)作用。

束蘊(yùn)儀器為各類客戶提供完善的實驗室和工業(yè)檢測儀器及過程控制設(shè)備,專業(yè)的應(yīng)用支持及完善的售后服務(wù),在中國大陸的諸多領(lǐng)域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國家機(jī)關(guān)、檢驗機(jī)構(gòu)及工業(yè)企業(yè),產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業(yè)。公司的宗旨:為客戶量身打造適合的綜合解決方案,技術(shù)支持和現(xiàn)場服務(wù),系統(tǒng)高效的客戶培訓(xùn),快速及時的售后服務(wù)。

束蘊(yùn)儀器,讓世界更清晰!

主營儀器設(shè)備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學(xué)輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權(quán)代理商

--PDF衍射數(shù)據(jù)庫、JADE軟件--國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)授權(quán)代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導(dǎo)退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權(quán)代理商



單位名稱:束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司

詳細(xì)地址:上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號樓602室









MicroCT,顯微CT,微焦點CT,骨骼成像,顯微CT材料學(xué)檢測,微納顯微CT,X射線斷層掃描,TOC,元素檢測

供貨周期 現(xiàn)貨

簡介

C60-20S 離子源系統(tǒng)是一種高性能離子束,設(shè)計用于濺射表面,具有較小的損傷和減少的沿周濺射效應(yīng)。 

C60-20S 離子源系統(tǒng)在高達(dá)20 kV的電壓下工作,可有效地濺射材料,且損傷較小,無需重新沉積碳。

C60是XPS、AES和SIMS的理想升級組件,可在多種材料上均勻濺射。

       

 

主要參數(shù)



主要應(yīng)用                濺射                
光斑尺寸                100 µm                
掃描范圍                4 x 4 mm                
能耗范圍                5 – 20 kV                
電流范圍                50 nA                
法蘭至機(jī)頭長度                142 mm                
推薦工作距離                50 mm                
電源裝置                3U x 19’’ rack mountable unit    
電源要求                110-240VAC 13A 50/60Hz                
軟件要求                        PC running Windows 10 or later                   
集成法蘭規(guī)格                NW 63 CF                














特點:  

  電流密度高,蝕刻速度更快;

◇  與單原子束相比,可減少化學(xué)損傷;

◇  不同材料和晶體取向的濺射率一致

◇  閘閥,便于快速維修;

◇  源壽命長;



應(yīng)用領(lǐng)域: 

◇  聚合物的高速、低化學(xué)損傷蝕刻;

◇  C60離子濺射的速度比單原子束(包括氬和氙)快50倍,同時 對底層材料造成的損害要小得多;

◇  下圖比較了15kev的C60濺射產(chǎn)率與15kev金、氙鎵和氬的TRIM數(shù)據(jù)。在相反的例子中,用C60和單原子氬離子束濺 射清洗PTFE薄膜;

◇  雖然兩種離子束都去除了表面污染,但只有C60離子束的表 面化學(xué)性質(zhì)沒有發(fā)生變化;

         



               


        

   





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