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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐>LFT1400C 300D602ZLV CVD 薄膜材料制備

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LFT1400C 300D602ZLV CVD 薄膜材料制備

具體成交價以合同協議為準

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 合肥康帕因設備技術有限公司是應材料界老客戶呼吁而成立的專業致力于材料制備、真空鍍膜、真空檢測、等離子清洗、鍍膜等設備的研發、生產型企業。公司擁有過硬的技術團隊,可在材料研究、真空檢漏、真空鍍膜、等離子清洗等領域為您排憂解難。
CPI 技術力量來源于材料類工業生產設備要求,以及與國外同行業間的技術合作,產品設計*,注重細節,質量可靠,售后無憂。CPI設備廣泛應用于新能源材料,金屬材料,磁性材料,半導體材料,陶瓷材料,電化學,薄膜材料,CVD,PECVD ,石墨烯,碳納米管,碳納米線,光學材料,齒科等研究領域。
CPI將工業生產設備技術要求應用于實驗設備,設備性能更加穩定可靠,工藝重復性強。
CPI的理念是以客戶為根本(customer),以人才為基礎(personnel),以創新求發展(innovation)。我們將秉承這一理念,為每一個客戶提供全套方案!
CPI企業文化:厚德載物,自強不息。以人為本,敬職敬業。
CPI經營理念:誠信務實,創新致遠。品質*,服務至上。




熱處理設備,高溫爐、CVD/PECVD、真空系統、晶體、耗材等

產地類別 國產 價格區間 面議
儀器種類 管式爐 應用領域 環保,化工,能源,電子/電池,電氣

一、設備特點:

薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境。該設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡便快捷,是各大材料實驗室的理想設備之一。

1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無機材料,不含污物,潔凈,美觀。

2、采用模糊PID控制精準控制,溫場均勻,燒結成品一致性好。

3、爐體采用雙層風冷機構,爐子燒到最高溫度時,殼體表面溫度低于60度。

4、爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節能。

二、技術參數:

名稱

規格

單溫區真空管式爐CVD系統  

單溫區真空管式爐

爐管尺寸

Φ60×1000mm 更多其他規格剛玉管可選(Φ50/60/80/100mm等)

主要參數

最高溫度: 1400℃

工作溫度: 1300℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區長度: 300mm

額定功率:4KW

電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結構

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

溫控系統

模糊PID控制和自整定調節功能

智能化30段可編程控制

具有超溫及斷偶報警功能

控溫精度: ±1 ℃

S型熱電偶

可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集(需另購)

 

溫控儀表(可選)

標配儀表品牌為宇電,可選定其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。

密封系統

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數顯真空計(需另外訂購)

備注:本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴展端口

如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機械泵:10^-1Pa

分子泵機組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

二路質量流量控制系統

MFC-2Z

電壓

220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

316不銹鋼

量程

50sccm、100sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

5~45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W

真空系統

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承載量

1000 Lbs

抽氣速率

10m³/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

質保期

一年保修,終身技術支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

相關應用

爐膛內襯可以單獨更換(額外付費)

可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子

應用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


 

 

 

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