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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>有掩模光刻機>ABM/6/350/NUV/DCCD/SA 紫外光刻機

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ABM/6/350/NUV/DCCD/SA 紫外光刻機

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京中科復華科技有限公司
  • 品牌 ABM/加拿大
  • 型號 ABM/6/350/NUV/DCCD/SA
  • 產地 美國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/4/7 10:21:44
  • 訪問次數 384
產品標簽

ABM光刻機

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器,擁有一支經驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。   未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產品,同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業在廣范圍、高層次上提供服務。 

納米圖形發生器,離子束刻蝕/反應離子刻蝕/感應耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機、去膠設備等

截止到2008年1月,ABM公司在世界范圍售出了500多臺光刻機,50多臺單獨曝光系統。客戶包括美國NSA和INTEL、哈佛大學、LG、菲利普、惠普、3M等,ABM在中國各地也擁有不同領域的客戶,包括眾多的工廠、大學和研究所等。



主要配置:

6“,8”光源系統
可支持2“,3”,4“,6”,8“(圓/方片)及碎片光刻
手動系統,半自動系統
支持電源350-2000 Watt
支持深紫外近紫外波長(可選項)
 支持背后對準及MEMS工藝要求
 CCD或顯微鏡對準系統


主要性能指標:
 光強均勻性Beam Uniformity::
--<±1% over 2” 區域
--<±2% over 4” 區域
    --<±3% over 6” 區域

 
接觸式樣曝光特征尺寸CD(近紫外NUV):0.5 um
 接觸式樣曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.35 um
 支持接近式曝光,特征尺寸CD:
--0.8um 硬接觸
--1um 20um 間距時
--2um 50um 間距時
 正面對準精度 ± 0.5um
 背面對準精度±1um--±2um(Depends on user)
 支持正膠、負膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um
 支持LED優異電流控制技術PSS工藝光刻
 支持真空、接近式、接觸式曝光
 支持恒定光強或恒定功率模式




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