大平臺晶圓線路板檢查測量顯微鏡測量與讀數(shù)

1.調(diào)節(jié)目鏡進(jìn)行視場調(diào)整，使顯微鏡十字線最清晰即可；轉(zhuǎn)動調(diào)焦手輪，從目鏡中觀測，使被測工件成像清晰；可調(diào)整被測工件，使被測工件的一個橫截面和顯微鏡移動方向平行。

2.轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)輪可以調(diào)節(jié)十字豎線對準(zhǔn)被測工件的起點(diǎn)，在標(biāo)尺上讀取毫米的整數(shù)部分，在旋轉(zhuǎn)輪上讀取毫米以下的小數(shù)部分。兩次讀數(shù)之和是此點(diǎn)的讀數(shù)A。

3.沿著同方向轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)輪，使十字豎線恰好停止于被測工件的終點(diǎn)讀數(shù)A′，記下此時所測量工件的長度。

大平臺晶圓線路板檢查測量顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)

1.主體規(guī)格

◆X坐標(biāo)行程:    310（mm）

◆Y坐標(biāo)行程：  310（mm）

◆Z坐標(biāo)行程:    50（mm）
◆操控方式：XY手動同軸低手位粗微調(diào)可切換（帶快速移動）

Z軸手脈電動操控（快上-快下-中檔-慢檔切換）
◆反射照明光源：

明暗場反射照明器，帶明暗場照明切換裝置；

可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽。

可根據(jù)客戶產(chǎn)品不同而選擇DIC微分干涉功能。

2.目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù)：五孔旋轉(zhuǎn)器，標(biāo)配5X、10X、20X、50X明暗場半復(fù)消色差金相物鏡（可選配100X）

標(biāo)配手動鼻輪（可選配電動鼻輪）

◆目鏡放大倍數(shù)：10X( 單、雙目同，PL10X25mm)
◆總放大倍數(shù)：  50X-500X（包括畸變在內(nèi)的）


3.影像系統(tǒng)
◆攝像機(jī)接口：C型接口，可調(diào)焦

◆CCD：630萬高清數(shù)字相機(jī)（自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測）
◆綜合影像放大倍數(shù)：1000X以上

使用注意事項(xiàng):

1.在松開每個鎖緊螺絲時，必須用手托住相應(yīng)部分，以免其墜落和受沖擊。

2.注意防止回程誤差，由于螺絲和螺母不可能密合，螺旋轉(zhuǎn)動方向改變時，它的接觸狀態(tài)也改變，兩次讀數(shù)將不同，由此產(chǎn)生的誤差叫回程誤差。為防止此誤差，測量時應(yīng)向同一方向轉(zhuǎn)動，使十字線和目標(biāo)對準(zhǔn)，若移動十字線超過了目標(biāo)，就要多退回一些，重新再向同一方向轉(zhuǎn)動。