借助 3D 粗糙度重建系統，飛納臺式掃描電鏡（SEM）可以生成樣品的三維圖像，并進行亞微米量級的粗糙度測量。基于“陰影顯形”技術，3D 成像有助于展示樣品特征。

3D

3D 圖像可以幫助用戶更好地理解樣品特點，使得在 2D 圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征，變得清晰可見。 

粗糙度 

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的測量對于生產工藝的控制和改進具有重要意義。使用 SEM 圖像作為信息收集手段，可以獲得比傳統（非直接）手段更佳的分辨率。3D 粗糙度重建模塊是飛納臺式掃描電鏡的理想擴展，特別適用于下列領域： 

• 機械加工的質量控制 

• 紋理分析 

• 證物鑒定 

• 缺陷 & 失效分析 

• 摩擦學-磨損分析

3D 粗糙度重建系統可在包含多個飛納臺式掃描電鏡（SEM）特定應用程序的 Phenom ProSuite 中獲得。 

3D 粗糙度重建系統的主要優點：

 • 遠優于光學或機械測量手段 

    - 高分辨率

    - 可測量反光樣品 

    - 直接測量

    - 非破壞性 

• 創新性全自動用戶界面 

• 基于“陰影顯形”，無需傾斜樣品 

• 完整解決方案 

• 快速重建

• 直觀的用戶界面