產品介紹

TLPH系列精密型光電測試探針臺是基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來，實現高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路，實現光電流與IV的雙功能檢測，是光電芯片/器件測試的理想之選。

技術優勢

.模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試；

. 最大可用于12寸以內樣品測試;

.探針臺整體位移精度高達3um，樣品臺精密四維調節；

. 激光顯微鏡，5檔物鏡轉盤，可引入激光完成光電流測試；

. 滿足1um以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）;

. 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計;

. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；

. 配顯微鏡三維精密調節功能，且可選配多種行程及驅動方式。

模塊介紹

通用參數

常規選型

相關配件

多種精度，多種夾具類型探針座

同軸線纜，三同軸線纜

各種類型探針

真空泵

電學測試夾具

電磁屏蔽箱

應用領域

半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產檢測、航空航天實驗等。

譜量光電可根據客戶實際應用需求，定制配套精密型光電測試探針臺，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯系詳詢。