RIX半導體行業用旋轉接頭 晶圓清洗EMF系列

RIX半導體行業用旋轉接頭 晶圓清洗EMF系列

規格：

適用流體：純水、藥液、 空氣、真空等
最大壓力 ：-0.095～0.6MPa
最大通路：8
最大轉速：250min-1

主要途徑與其特點：

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復數流體同時流動。
通常應用于CMP設備

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新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機