T-BOX分閥箱是一種專為半導體設備設計的二級防漏箱。它在半導體生產過程中起到重要作用，用于分流、控制和保護介質的流動，并提供漏液報警和漏液收集功能。

　　以下是關于T-BOX分閥箱的一些信息：

　　1. 功能：T-BOX分閥箱具有以下主要功能：

　　- 分流控制：通過閥門控制介質的流動，將介質引導到相應的工藝設備或管道。

　　- 二級防漏：采用雙層結構，當發生泄漏時，漏液會被收集并引導到漏液收集裝置中，保護環境和設備。

　　- 漏液報警：配備漏液傳感器，一旦檢測到泄漏，可及時發出報警信號，提醒操作人員處理。

　　- 環境隔離：將危險或腐蝕性介質隔離，避免對周圍環境和設備造成損害。

　　2. 特點：T-BOX分閥箱的特點包括：

　　- 高密封性：確保介質流動時不會泄漏。

　　- 耐腐蝕性：適用于處理酸、堿等腐蝕性介質。

　　- 安全性：提供漏液報警和收集功能，保護設備和操作人員安全。

　　- 可靠性：采用優質材料和精密加工制造，保證其穩定可靠的運行。

　　3. 應用：T-BOX分閥箱廣泛應用于半導體設備中，特別適用于涉及腐蝕性介質、有泄漏風險或需要嚴格控制流動的工藝環節。例如，在濕法蝕刻、清洗、濺射等工藝中，使用T-BOX分閥箱可以實現對介質的精確控制和防漏保護。

　　總之，T-BOX分閥箱是一種針對半導體設備設計的二級防漏箱，具有分流控制、防漏保護和漏液報警等功能，能夠有效滿足半導體生產工藝對介質控制和安全性的要求。歡迎大家咨詢合作：181--5089-3110