| 靶材材質 | 黃金、鉑金、純銀、鎳、銅等 | 靶材尺寸 | φ125X0.3mm |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
| 濺射氣體 | 空氣 | 控制方式 | 自動 |
| 樣品倉尺寸 | φ170X120mm | 樣品臺尺寸 | 100mm |
| 應用領域 | 綜合 |
電子在電場的作用下，飛向基片過程中與氣體原子發生碰撞，使其電離產生出氣體正離子和新的電子；新電子飛向基片，離子在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場，被束縛在靶表面特定區域，增強電離效率，增加離子密度和能量，從而實現高速率濺射。
主要應用：
適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導電膜（金膜、鉑金、銀、鎳、銅等），儀器操作簡單方便，是配合各類型掃描電子顯微鏡制樣的儀器。是制備低維度，小尺寸納米材料器件的實驗手段，廣泛應用于集成電路，光子晶體，低維半導體、微生物、超微膜材料等領域。
配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家：
熱電（美國原荷蘭）FEI鎢絲陰極、場發射、飛納臺式等各類型電子顯微鏡，蔡司（德國）鎢絲陰極、場發射各系列的掃描電子顯微鏡，JEOL（日本電子）各類電鏡，日立（日本）各系列電鏡、臺式電鏡，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列電鏡，還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理，提高成像質量、增強導電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。
低溫磁控型
1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗，方便觀察操作；
2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；
3.微調閥調節靈敏準確，帶有刻度標識；
4.真空泵抽速快，噪音低，適合實驗室使用；
5.控制電路為控制板，工作穩定可靠；
6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便；
7.結構簡單可靠，布局合理，維修操作空間大；
8.自動真空的進排氣，關機自動放棄（標準版手動放氣）
9.優化機型外觀，整潔大方，體積靈巧；
10.數字方式定時，0-9999秒區間自主調節；
11.采用冷陰極磁控濺射靶頭；
12.升降式上翻蓋結構，更換樣品方便快捷；
13.采用定制“凹”密封，更加方便操作；
14.增大樣品處理室空間，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體；
15.定制型真空泵排氣過濾器；
16.獨立式升降樣品臺組件（標準為2支柱緊固型）；
u 石英處理室：
Φ170mm,高度120mm;
u 濺射類型：
冷陰極磁控型二級濺射；
u 樣臺尺寸：150mm,樣品臺插孔多個可選；
可升降和手動旋轉
u 樣品更換：升降式上翻蓋結構，上蓋打開可獨立支撐
u 靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）;
u 真空系統：真空泵2L/S；（選配無油渦旋干泵）
u 真空檢測：定制皮氏計，配合真空指針表，靈敏可靠；
u 真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節工作真空；
u 真空泄壓：自動進排氣（無需手動放氣閥）；
u 電路保護：過載保護；
u 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口；
服務承諾
1. 質保期限：
到貨之日起，為期一年。
2. 安裝調試：
（1.）提供視頻安裝資料，電話和微信遠程指導安裝和調試。
（2.）上門安裝調試（需協商）
3. 可提供的服務方式：
4. 熱線應答：
由專業工程師通過溝通、幫助、指導、解決、排除故障
現場服務：由工程師在最短的時間內到達，以的方式排除故障。（需協商）
人性化服務：尊重以人為本的服務理念，提供超過客戶期望值的服務。
遠程服務：在最終客戶的前提下，通過互聯網遠程指導技術人員在客戶現場處理。
定期巡檢服務：不定期由公司和工程師帶隊，對客戶進行巡檢，廣泛征求意見以求客戶滿意。
5. 包裝及運輸方式：
1.包裝：滿足QB／BWD008-2001之要求的運輸包裝箱
2.輸方式：公路貨運物流
實拍照片
TESCAN電子顯微鏡和ISC離子濺射儀
JEOL電子顯微鏡和ISC系列離子濺射儀
賽默飛臺式場發射（FEI）
應用客戶列表
序號 | 用 戶 | 數量 | 設備型號 |
1 | 華南理工大學材料學院 | 1 | TZZN-200 |
2 | 電子五所 | 3 | TZZN-200 |
3 | 山西國惠公司 | 1 | TZZN-200 |
4 | 中山大學測試中心 | 1 | TZZN-200 |
5 | 金發科技 | 1 | TZZN-200 |
6 | 桂林電子科技大學 | 1 | TZZN-200 |
7 | 廣西特種設備監督檢驗院 | 1 | TZZN-200 |
8 | 江蘇科技大學材料學院 | 1 | TZZN-200 |
9 | 深圳市藥品檢驗所 | 1 | TZZN-200 |
10 | 仲愷農業工程學院 | 1 | TZZN-200 |
11 | 順德職業技術學院 | 1 | TZZN-200 |
12 | 廣州纖維產品檢測研究院 | 1 | TZZN-200 |
13 | 廣東工業大學材料與能源學院 | 1 | TZZN-200 |
14 | 廣西植物所 | 1 | TZZN-200 |
15 | 廣西壯族自治區環境監測中心站 | 1 | TZZN-200 |
16 | 佛山市質量計量監督檢測中心 | 1 | TZZN-200 |
17 | 廣東省新材料研究所 | 1 | TZZN-200 |
18 | 華南農業大學 | 1 | TZZN-200 |
19 | 寧德時代新能源科技股份有限公司 | 2 | TZZN-200 |
20 | 華南理工大學造紙學院 | 1 | TZZN-200 |
21 | 華南理工大學測試中心 | 1 | TZZN-200 |
22 | 中南大學 | 1 | TZZN-200 |
23 | 南昌大學 | 1 | TZZN-1000 |
24 | 鋼鐵研究總院 | 1 | TZZN-200 |
25 | 深圳方正公司 | 1 | TZZN-200 |
26 | 西南物理研究院 | 1 | TZZN-200 |
27 | 江蘇產品質量監督檢查 | 1 | TZZN-1000 |
28 | 珠海海萊特電子科技公司 | 1 | TZZN-1000 |
29 | 深圳豪鵬公司 | 1 | TZZN-1000 |
30 | 哈爾濱工業大學 | 1 | TZZN-1000 |
31 | 東北石油大學 | 1 | TZZN-1000 |
32 | 新疆克拉瑪依油田 | 1 | TZZN-1000 |
33 | 吉林大學 | 1 | TZZN-1000 |
34 | 金正大公司 | 1 | TZZN-1000 |
35 | 齊魯石化公司 | 1 | TZZN-1000C |
36 | 青島華世潔公司 | 1 | TZZN-1000C |
37 | 煙臺萬潤公司 | 1 | TZZN-1000C |
38 | 河南師大 | 1 | TZZN-1000C |
39 | 貴州大學 | 1 | TZZN-1000C |
40 | 廣州大學 | 1 | TZZN-1000C |
41 | 奧瑞金 | 1 | TZZN-1000C |
42 | 江西電科院 | 1 | TZZN-1000C |
43 | 中北大學 | 1 | TZZN-1000C |
44 | 中航鋰電 | 1 | TZZN-1000C |
45 | 中科院城市環境研究所 | 1 | TZZN-200 |
46 | 南京航天航空大學 | 1 | TZZN-200 |
47 | 威特真空 | 1 | TZZN-200 |
48 | 東北大學秦皇島分校 | 1 | TZZN-200 |
49 | 美的集團研發部 | 1 | TZZN-200 |
50 | 桂林理工大學 | 1 | TZZN-200 |
51 | 中南大學 | 1 | TZ-1000CK |
52 | 云南師范大學 | 1 | TZ-1000CK |
53 | 中海油南海西部研究所 | 1 | TZ-1000CK |
54 | 一汽技術中心 | 1 | TZ-1000CK |
55 | 江西理工大學 | 1 | TZ-1000CK |
56 | 北京大學 | 1 | 108AUTO |
57 | 昆明礦產 | 1 | 108AUTO |
58 | 河南巖石 | 1 | 108AUTO |
59 | 常州工學院 | 1 | TZ-1000CK |
60 | 江蘇中天 | 1 | 108manual |
61 | 中科院地理所 | 1 | 108auto |
62 | 捷鴻電子科技 | 1 | TZZN-200 |
63 | 德州學院 | 1 | 108auto |
64 | 上海外高橋 | 1 | 108auto |
65 | 上海通用東岳動力 | 1 | TZZN-200 |
66 | 內蒙古科技大學 | 1 | 108C auto |
67 | 江蘇協鑫硅材料 | 1 | TZZN-200 |
68 | 廣東工業大學 | 1 | TZZN-200 |
69 | 遼寧科技大學 | 1 | TZZN-200 |
70 | 華北電力 | 1 | TZZN-200 |
71 | 深圳市藥檢所 | 1 | 108auto |
72 | 中原工學院 | 1 | 108manual |
73 | 廣東省疾控中心 | 1 | 108c auto |
74 | 綿陽華立精工 | 1 | 108manual |
75 | 上海市軸承技術研究所 | 1 | 108auto |
76 | 美的集團真空部 | 1 | TZ-1000C |
77 | 內蒙古科技大學 | 1 | TZ-1000C |
78 | 山西煤矸石 | 1 | 108auto |
79 | 成都奧圖 | 1 | 108auto |
80 | 蘭州油氣中心 | 1 | 108Cauto |
81 | 上海汽車商務車 | 1 | 108auto |
82 | 江西技術師范學院 | 1 | 108manual |
83 | 長春理工大學 | 1 | 108manual |
84 | 哈工大 | 1 | TZ-1000CK |
85 | 鋼鐵研究總院 | 1 | TZ-1000CK |
86 | 四川科源 | 1 | TZ-1000CK |
87 | 揚州質檢所 | 1 | TZ-1000CK |
88 | 中國平煤神馬能源化工 | 1 | TZ-1000CK |
89 | 南通市通州區家紡產業 | 1 | TZ-1000CK |
90 | 遼寧科技學院 | 1 | TZ-1000CK |
91 | 天津東皋膜技術有限公司 | 1 | 108auto |
92 | 黑龍江大學 | 1 | 108auto |
93 | 佛山市 | 1 | 108+108C |
94 | 廣東省博物館 | 1 | 108auto |
95 | 寶雞吉利 | 1 | TZZN-200 |
96 | 歌爾聲學股份有限公司 | 1 | TZZN-200 |
97 | 燕山大學 | 1 | TZZN-200 |
98 | 交通科學研究院 | 1 | 108auto |
99 | 華南師范大學測試中心 | 1 | 108C |
100 | 廣州有色金屬研究院 | 1 | 108auto |
101 | 山東師范大學 | 1 | 108manual |
102 | 成都海威 | 1 | 108auto |
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