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:CLS 5000

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 本公司主要從事半導(dǎo)體進口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等。

本公司主要從事半導(dǎo)體進口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

:CLS 5000

      是傳統(tǒng)的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應(yīng)用上,在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。



CLS 5000技術(shù)參數(shù):

激光介質(zhì)

ArF

KrF

XeCl

波長 (nm)

193

248

308

脈沖能量 (mJ)

15

25

12

重復(fù)頻率 (Hz)

500

平均功率 (W)

7.5

12.5

  6

脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

12 х 4

光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns)

10 – 12

冷卻方式

水冷

重量 (kg)

85

尺寸 (LхWхH, mm)

890 х 340 х 460

電源

220 V, 50-60 Hz,  < 1000 VA



可選功能和附件:


可能配置1000和2000赫茲


CLS 5000主要特點:


非常高的光束指向穩(wěn)定性

高重復(fù)頻率

能量穩(wěn)定性好

設(shè)計緊湊

內(nèi)置能量控制

帶磁轉(zhuǎn)換發(fā)生器


應(yīng)用:


布拉格光柵

無掩膜光刻

準(zhǔn)分子材料加工

激光視力矯正


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