SPSM緊湊型室溫手動探針臺是一款經濟實惠、入門級的探針臺，能夠對2寸、4寸寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量。緊湊的桌面設計是學術和實驗研究的較佳選擇。（我們可定制PSM-PM-2、4寸探針臺）

特點

采用金相高精度顯微鏡，能最小識別0.1μm的Pad點

樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品

樣品座下方位移座可實現樣品座三維精細位移調節使得樣品測試和換樣更加便捷。

最多可安裝6個探針臂

探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動，并且可以三維微調，操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。

探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，

在100fA以內

CCD放大倍數為50-1000倍，工作距離為100mm

滑臺和樣品座均采用真空吸附固定。

參數和指標

樣品座

卡盤尺寸2/4/6/8/12英寸，可定制

材質 鋁合金鍍金

樣品固定方式 多孔吸附

位移行程：X-±12.5mm，Y-±12.5mm，Z-±6.5mm

移動可分辨精度：10μm

探針臂

固定方式：磁鐵吸附

XYZ微調移動行程：XYZ-13mm

微調可分辨精度：1μm

探針臂數量 可安裝6個探針臂（左右各3個）

電學線纜 三同軸線纜

漏電流 100fA

探針類型 直流探針

光學系統

顯微鏡放大倍數 50-1000倍

顯微鏡工作距離 90-100mm

CCD相機分辨率 彩色2000萬像素

可加選件

光學平臺

直流探針

樣品座

屏蔽箱

可選聯用設備

M81同步源和測量模塊

M91快速霍爾測量儀

155精密I/V源

激光儀器