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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐>RTP-3-04 嘉儀通 高溫快速退火爐用于半導體退火處理

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RTP-3-04 嘉儀通 高溫快速退火爐用于半導體退火處理

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3-04
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/6/14 11:39:07
  • 訪問次數 341

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年是以薄膜物性測量儀器作為戰略定位,技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐,霍爾效應測試,RTP,RTA,RTO,熱電參數測試,Seebeck系數測試,電導率測試,熱導率測試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導體工藝設備的研發、市場和技術服務于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業。

  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅持自主研發與應用創新,擁有自己的技術工程師研發團隊,建有省級工程實驗室、新型研發機構以及市級企業技術中心平臺,擁有知識產權100多項,主持承擔參與了10余項國家科技攻關項目。2020 年,公司研發的“薄膜材料熱特性測試技術及儀器”技術與產品榮獲了“湖北省技術發明一等獎”。核心序列產品廣泛應用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構和工業企業等細分領域,并服務于國內近500家客戶。除此之外,核心產品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、中國臺灣等20多個國家和地區,實實在在為新材料的科研和生產創造了價值。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數據分析,為世界各國用戶的薄膜技術研究及戰略方向提供理論依據與數據支撐。 

  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術創新、應用為上的行動準則,遵循“專注、創新、成長、勤勉”的核心價值理念,認真做好每一款產品,為客戶提供合適的產品與優質的服務。最終實現公司愿景:和員工一起成長為薄膜(熱)測量領域的先鋒者!

 

快速退火爐,半導體退火設備,液氮低溫恒溫器,快速退火爐RTP

產地類別 國產 價格區間 30萬-50萬
儀器種類 真空爐 應用領域 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

嘉儀通 高溫快速退火爐用于半導體退火處理設備可實現大尺寸樣品(4英寸樣品)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統,可達到好的溫場均勻性,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產工作起到重要作用。

嘉儀通 高溫快速退火爐用于半導體退火處理 該設備優點有以下幾種:

  • 可測大尺寸樣品:可測單晶片樣品的尺寸為4英寸。

  • 可遠程操作:提供遠程監控模塊。

  • 壓力控制系統創新設計:高精度控制壓力,以滿足不同的工藝要求。

  • 存儲熱處理工藝:方便工藝參數調取,提高實驗效率,數據可查詢。

  • 快速控溫與高真空:升溫速率可達150℃/s,真空度可達到10-3Pa。

  • 程序設定與氣路擴展:可實現不同溫度段的精確控制,進行降溫段的自動轉接,并能夠對工藝菜單進行保存,方便調用。采用MFC精確控制氣體流量,實現不同氣氛環境(真空、氮氣等)下的熱處理。

  • 腔體空間設計:保證大尺寸樣品的溫場均勻性 ≤1.5%。

  • 全自動智能控制:采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實現自動控制。

  • 超高安全系數:采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,多方位保障設備使用安全。

  • 國產退火爐:擁有自主研發技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求。







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